Occasion SEMITOOL Alpha Raider #9160953 à vendre en France
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ID: 9160953
Wet processing system, 8"
Model: CP04MNSPD0801
Porous silicon
Process chambers:
Spray
Vapor
Immersion
Electroplating applications
Integrated into single cluster tool
Manuals and schematics
2009 vintage.
SEMITOOL Alpha Raider est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système avancé conçu pour améliorer la compatibilité avec les nouveaux substrats, les produits chimiques de nettoyage et les résistances. L'unité est basée sur la technologie de dopage propriétaire et est capable de travailler avec une variété de photorésistes. Alpha Raider utilise un design ambitieux en plusieurs étapes, qui inclut divers paramètres tels que l'épaisseur du film, l'uniformité, la qualité de surface et la distribution de résistance qui peuvent être adaptés à des applications spécifiques. Il est doté d'une machine à spin-coat pour l'application de résistance qui est couplée à un scanner d'aspect de haute technologie, permettant l'application de la résine d'une manière qui réalise un revêtement uniforme sur toute la surface de la plaquette. Le chauffage du substrat est rapidement assuré par une distribution rapide de gaz chaud et inerte. La température peut être ajustée pour correspondre aux exigences de l'application. SEMITOOL Alpha Raider est également équipé d'une buse à double pulvérisation unique pour le traitement de la résistance, capable de produire rapidement une exposition uniforme à la surface de la plaquette. Alpha Raider dispose également d'un cycle de rinçage avancé qui assure l'élimination de toute résistance résiduelle. L'outil est également doté d'une combinaison unique d'un faisceau d'électrons à grande vitesse et d'un laser UV spécialement conçu pour le traitement in situ. Ceci permet de moduler rapidement les diodes de substrats individuels. Finalement, SEMITOOL Alpha Raider présente un O2-plasma sophistiqué ashing l'actif qui est utilisé pour la définition de dessin précise, en tenant compte d'appareil à appareil supérieur repeatability et de production supérieure. En conclusion, Alpha Raider est un modèle de photorésist avancé qui offre un grand contrôle sur une variété de paramètres, ce qui permet une modélisation précise et la répétabilité de l'appareil. Sa conception avancée de la buse, son contrôle précis de la température et son traitement rapide permettent une uniformité et des rendements améliorés, ce qui en fait un choix idéal pour la production de semi-conducteurs.
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