Occasion SEMITOOL / CALOGIC ST-870 #9265366 à vendre en France
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SEMITOOL/CALOGIC ST-870 est un équipement photorésistant de haute qualité, contrôlé par ordinateur, conçu pour le traitement des plaquettes de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre des performances supérieures en termes de précision, de répétabilité et de débit. Ce système est conçu pour traiter les circuits intégrés à grande échelle (LSI) et les puces mémoire avec un dimensionnement de ligne jusqu'à 600 um (micromètre). CALOGIC ST-870 dispose d'une plate-forme entièrement automatisée pour le traitement des plaquettes, avec une gamme de mouvements, y compris plusieurs centaines de millimètres de translation X-Y, et tournant autour de plusieurs axes. Il comprend également des bras robotiques spécialisés et des pinces qui permettent une manipulation et un chargement en douceur de la résine photosensible sur la plaquette. Les cycles de charge et de processus sont entièrement automatisés et entièrement personnalisables, pour répondre aux besoins spécifiques du client. De plus, l'unité peut être mise en place avec une source fixe ou mobile. La machine comprend une unité de distribution de photorésist avancée qui assure des débits précis et reproductibles. Ceci est assisté par un contrôleur avancé, avec un moteur pas à pas linéaire très précis qui assure le revêtement de film uniformément dispersé de la plaquette dans la production. Le contrôleur permet également l'application de produits chimiques adoucissants, et un cycle de rinçage pour le post-traitement. SEMITOOL ST-870 est équipé d'un outil à double buse de pointe, fabriqué avec précision, qui permet l'application simultanée de photorésist sur les deux côtés d'une plaquette. Cet atout permet également l'application de produits chimiques de prétraitement pour les concentrations d'humidité et d'humidité. De plus, ce modèle dispose d'un mécanisme de modulation d'impulsions avancé pour contrôler la température de la tête de rouleau et de ses circuits associés, assurant un bon calage du revêtement photorésist. L'équipement dispose également d'un système PRI informatisé qui permet à l'opérateur de programmer et de contrôler l'ensemble du processus. Cette unité est entièrement programmable et peut être utilisée pour invoquer plusieurs options et fonctions, telles que la vitesse variable, la résistance globale des plaquettes et la taille variable de la buse. De plus, cette machine est également capable de manipuler différents types de substrats en verre et en céramique pour la fermentation. ST-870 est conçu pour des applications à haute performance, telles que la fabrication en ligne, la fabrication de plaquettes, les essais et mesures de production, et le traitement à grande échelle de petites puces. C'est un outil entièrement automatisé qui garantit une précision répétable et des performances à long terme.
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