Occasion SEMITOOL CDU-C2-01 #9093501 à vendre en France
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ID: 9093501
Style Vintage: 1998
Chemical delivery unit
For spray acid tools (SAT Series)
Spray solvent tools (SST Series)
(4) Chemical tanks
(4) Separate chemicals
DI Water return
Supply connections
CDA (clean dry air)
Supply facility requirement: 90 PSI Max
N2 Supply facility requirement: 80 PSI Max
(6) Trebor magnum 610 diaphragm pumps installed:
Software version: CDU-402, 1.03
Full load current: 3A
Largest motor or load: 3 A
Short circuit interrupt: 3500 A
120 VAC, Single phase, 3-wire, 50 / 60 Hz
1998 vintage.
SEMITOOL CDU-C2-01 est un équipement de photorésistance conçu pour équiper les installations de fabrication de semi-conducteurs d'un traitement efficace et fiable des photorésistances. Il utilise une combinaison à la pointe de la technologie de la mécanique avancée et de l'ingénierie de contrôle pour le traitement de la résine photosensible supérieure. Le système intègre une chambre de serrure sous vide de haute performance et de grande capacité avec un robot à balayage avancé qui offre une mobilité totale du chargement/déchargement des plaquettes au mouvement au sein des modules de processus. L'automatisation combinée avec la capacité de nettoyage de chambre, se traduit par un débit brut à net de jusqu'à 20 plaquettes par heure. La machine comprend des caractéristiques telles qu'une capacité de manutention des plaquettes de 21 pouces et un procédé spin-rinçage-sec pour un traitement rapide et fiable. Une autre caractéristique est le mouillage optimisé des plaquettes à travers un cycle spin-auto-centre inverse, réalisé pour la première fois pour le traitement de la résine photosensible. De plus, un outil avancé d'autodiagnostic est intégré pour maintenir les opérations à des performances maximales. En outre, le caractère autonome de CDU-C2-01 permet également une faible empreinte patrimoniale. Cela réduit l'espace occupé par le modèle par rapport aux autres systèmes de production. En termes de sécurité et de fiabilité, l'équipement offre un environnement sûr et sécurisé pour plusieurs robots fonctionnant en parallèle. Cela réduit les risques et assure la stabilité du système. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour donner des performances inégalées à SEMITOOL CDU-C2-01. Il est idéal pour le traitement fiable et rentable de la résine photosensible et peut facilement être intégré dans n'importe quelle ligne de production existante.
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