Occasion SEMITOOL EQ23 #9287636 à vendre en France

SEMITOOL EQ23
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
EQ23
ID: 9287636
Style Vintage: 1996
Automatic spray system Missing parts 1996 vintage.
L'équipement SEMITOOL EQ23 est un système de photorésistance conçu pour la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs et d'autres dispositifs microélectroniques. Il s'agit d'une unité automatisée basée sur une piste avec une série de modules conçus pour fournir une solution à haut débit pour les procédés de fabrication de photorésist et d'autres semi-conducteurs. EQ23 machine est conçue avec une architecture modulaire et se compose de deux pistes distinctes. La piste primaire comprend quatre modules de procédé, dont un module humide pour le traitement de la résine photosensible, un module de séchage au rinçage au spin, un module de bande de résine photosensible et un module de couche de spin pour l'application de la résine photosensible. La deuxième piste comprend trois modules supplémentaires : un module de gravure de spin pour la gravure, un module propre pour le nettoyage de la puce après la gravure, et un module d'inspection pour l'inspection visuelle. L'outil permet aux utilisateurs d'avoir un contrôle total sur toutes les fonctions de transport de matériaux et de processus, ainsi que sur les réglages des paramètres de processus embarqués. Le module humide comprend un ensemble de réservoirs pour les produits chimiques photorésistants, un applicateur pour le tensage phtorésiste, et une buse de douche chauffée diélectrique pour assurer l'uniformité du motif de résiste. Le module de séchage au spin est utilisé pour faire tourner la résine à l'écart du substrat et la résine restante est ensuite automatiquement éliminée avec le module de bande. Le module de couche de spin est conçu pour assurer un dépôt uniforme de résine photosensible sur le substrat, tandis que le module de gravure de spin est utilisé pour graver le métal indésirable. Le module propre est conçu pour nettoyer complètement le substrat après gravure métallique, tandis que le module d'inspection est utilisé pour contrôler visuellement la qualité des matrices traitées. L'actif offre une production efficace avec un fonctionnement convivial et des performances fiables. La conception modulaire permet aux utilisateurs de modifier ou d'ajouter des modules pour répondre aux exigences des processus de production individuels, et les ajustements des paramètres de processus embarqués offrent un certain degré de flexibilité pour optimiser le processus. SEMITOOL EQ23 fournit les solutions nécessaires aux utilisateurs à la recherche d'un modèle photorésist automatisé pour la production de précision des composants semi-conducteurs.
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