Occasion SEMITOOL Equinox #293797045 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
Equinox
ID: 293797045
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2010
Electroplating system, 6" (2) Chambers Stainless steel cabinet TEFLON Chemical process chamber, 8" SS Low pressure chemical process chamber, 8" (4) Tanks GENMARK Wafer handling robot Wafer handler, 6" Flowmeter Touchscreen Controller CO2 Fire suppression system 3-Color signal tower Manuals included.
SEMITOOL Equinox est un équipement de photorésistance conçu pour augmenter la productivité des processus de photolithographie. Il est conçu pour simplifier le processus de chargement/déchargement, réduire l'intervention manuelle et assurer la compatibilité de la salle blanche. Il fournit un outil compact et rentable qui est idéal pour une utilisation dans les fabriques avancées de semi-conducteurs et de MEMS. Equinox dispose d'un système de transport Dual Platen innovant (DPTS). Cette unité permet le chargement et le déchargement simultanés des pièces, ce qui réduit le temps d'exécution et augmente considérablement le débit. La machine dispose également d'une manipulation entièrement automatisée du substrat et de l'adaptateur, ce qui élimine l'intervention manuelle. L'outil est également compatible salle blanche et dispose d'éléments de conception de pointe pour réduire la contamination des particules. Ces éléments de conception comprennent l'isolation dynamique des particules entre les chambres des plaquettes, les convoyeurs de transfert étanches des plaquettes et les porte-plaquettes à bulles de gaz. De plus, l'outil est équipé d'un module d'enceinte contrôlée (CEM) intégré, qui crée un environnement fermé qui prévient la contamination et permet un fonctionnement en salle blanche sans filtration d'air supplémentaire. SEMITOOL Equinox dispose également d'une interface écran tactile LCD conviviale. Sa structure de menu intuitive garantit un fonctionnement facile et offre plus de flexibilité que les consoles standard. L'outil est équipé d'une vaste bibliothèque de recettes standard, y compris des processus optimisés pour différents matériaux. Equinox fournit la solution idéale pour les besoins de fabrication de semi-conducteurs et de MEMS. Il offre une productivité élevée, une excellente compatibilité avec la salle blanche, un fonctionnement convivial et des contrôles de processus flexibles. C'est donc un outil idéal pour les processus de photolithographie dans les fabs avancés.
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