Occasion SEMITOOL Equinox #9207969 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
Equinox
ID: 9207969
Taille de la plaquette: 6"
Plating system, 6" (3) Plating chambers Heated plating tank Tank ultrasonic level sensor (2) Sample ports ARU Interface Tank heat exchange connections Flow schematics Operations manual Power: 208 VAC, 80 A, 50/60 Hz.
SEMITOOL Equinox est un équipement de traitement photorésist de haute précision conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour assurer un dépôt fiable et précis de résine photosensible sur des plaquettes afin de permettre la réalisation de circuits à l'échelle de sous-microns pour des dispositifs microélectroniques performants. Le système Equinox est conçu pour un revêtement photorésist de haute précision et répétable. Il utilise une technique brevetée de prétraitement pour assurer une excellente adhérence et uniformité des dépôts de résines photosensibles. L'unité comprend un pulvérisateur chimique sec pour préparer des surfaces de photorésist, un spin-coater pour déposer de la photorésist, et un post-coulée à basse température spécialisé qui aide à fixer correctement la couche de photorésist sur la plaquette. La machine Equinox SEMITOOL dispose également de capacités automatisées de détection d'endpoint pour fournir des résultats précis lors du dépôt de couches photorésistantes multiples avec des épaisseurs variables. Il dispose de plusieurs modes de régulation de la température, dont l'oxy-azote, l'azote, l'argon silencieux et les gaz d'échappement secs à haute pression. Ceci permet un contrôle plus précis du procédé de revêtement, indispensable pour réaliser des couches de photorésist de haute qualité à différentes épaisseurs. L'outil Equinox a intégré des protocoles de sécurité pour fournir des performances cohérentes et fiables et éviter que l'actif ne devienne surchargé ou endommagé. Il dispose d'un modèle sophistiqué de sublimation dense qui assure des dépôts uniformes et reproductibles d'une couche à l'autre. Il dispose également d'un environnement sans contamination qui élimine l'introduction de la contamination statique et aérosol de sorte que les couches de dispositifs subséquentes restent propres et exemptes de défauts. SEMITOOL Equinox dispose d'une large gamme de capacités de processus et peut facilement manipuler différents types de photorésist tels que SU-8, AZ, BISMOC, PMMA, et plus encore. Il est conçu pour traiter jusqu'à 25 plaquettes par heure et offre un contrôle de processus exceptionnel et une fiabilité pour des temps de dépôt photorésistants prolongés. Il dispose d'une méthode de Spin-Coat Multi-Point unique qui garantit des performances de processus uniformes et reproductibles. Dans l'ensemble, Equinox est un équipement de traitement photorésist de haute précision conçu pour fournir un dépôt photorésist précis et reproductible pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'une gamme de fonctionnalités avancées et de capacités de processus pour assurer un revêtement photorésist rapide, efficace et fiable pour les dispositifs de microélectronique haute performance.
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