Occasion SEMITOOL Equinox #9243044 à vendre en France
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ID: 9243044
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Etcher, 8"
Part number: E0212PMPLTNGETCH200
Process: Horizontal etch
(2) Chambers:
Chamber 1: Clean
Chamber 2: Horizontal chemical etch
SMIF System: Manual single wafer load
2000 vintage.
SEMITOOL Equinox est un équipement de photorésistance conçu pour la manipulation et le traitement efficaces de photorésist pour l'industrie des semi-conducteurs. C'est une solution entièrement intégrée offrant une plate-forme fiable pour le développement de recettes et l'automatisation. Le système comprend un procédé de photorésistance de bout en bout, qui intègre le prétraitement, plusieurs modules de boulangerie, le revêtement, l'exposition, le développement, la cuisson et le post-traitement. L'unité comprend une fonction de ligne automatique qui lui permet de s'intégrer de manière transparente dans un environnement de contrôle d'automatisation en usine. Il peut être configuré pour accepter les porteurs de plaquettes de l'équipement de traitement frontal et les sortir à l'étape suivante du processus. La machine est conçue pour fonctionner avec une large gamme de photorésistes et gère avec succès une grande variété de processus de revêtement, d'exposition, de développement et de cuisson. L'outil est équipé d'un logiciel de contrôle avancé pour faciliter un contrôle précis des chambres, modules, entrées de processus et sorties. Chaque module peut être contrôlé indépendamment via le logiciel de contrôle propriétaire. Le logiciel permet le développement et le stockage de recettes de processus pour une variété d'applications photorésist. L'actif se compose de commandes tactiles faciles à utiliser et d'un écran LCD TFT de 10,4 pouces qui permet la surveillance et le réglage des processus en temps réel. Equinox est également équipé d'une caméra embarquée pour l'inspection visuelle et la vérification. Il est également équipé d'une sonde de température pour une surveillance et un contrôle précis de la température. Le modèle est équipé de caractéristiques de sécurité étendues, y compris l'incorporation d'un équipement breveté de verrouillage de sécurité qui empêche le fonctionnement accidentel du système lorsque les portes sont ouvertes. En outre, il dispose d'une unité de sécurité du disjoncteur qui éteint automatiquement l'alimentation de la machine en cas de panne ou de panne. Tout le fonctionnement de l'outil est surveillé par un ordinateur hôte en continu. Dans l'ensemble, SEMITOOL Equinox est un actif photorésist avancé conçu pour un fonctionnement efficace et fiable. Il offre une plate-forme intégrée pour développer des recettes photorésistantes et l'automatisation, ainsi qu'un logiciel de contrôle avancé pour la surveillance et l'ajustement précis des processus. En outre, il est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr.
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