Occasion SEMITOOL Equinox #9408167 à vendre en France
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SEMITOOL Equinox est un équipement de traitement de photorésist conçu pour les applications de films secs dans le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est spécialement conçu pour être utilisé dans des environnements de production à haut volume et offre une approche manuelle entièrement automatisée pour résister au revêtement de la surface de la plaquette. Le système utilise une unité propriétaire de transport de plaquettes, couplée à une source de lumière UV et une machine de distribution de gaz de précision qui délivre le matériau résistant à la surface de la plaquette. L'outil pin-and-cup d'Equinox permet un débit plus rapide et une qualité de revêtement uniforme entre les plaquettes, ainsi qu'une récupération facile des plaquettes enduites. L'actif dispose également d'une capacité de nettoyage in situ pour assurer un environnement de traitement propre. SEMITOOL Equinox est capable de délivrer du matériau résistant à des épaisseurs allant de 5 à 12 microns. La vitesse de transport de la plaquette est réglable et peut traiter jusqu'à 150 plaquettes par heure. La source de lumière UV pour Equinox utilise une série de lampes qui émettent de la lumière UV à une longueur d'onde de 365 nanomètres, ce qui est idéal pour le processus de photolithographie. Il dispose également d'une alimentation variable pour contrôler l'intensité de la source lumineuse. En outre, SEMITOOL Equinox dispose d'un modèle entièrement automatisé pour contrôler la livraison de matériaux résistants, avec jusqu'à quatre points de capteur de pression différents, ainsi que d'un certain nombre de méthodes de livraison de gaz et de produits chimiques, tels que le bullage et la pulvérisation. Equinox utilise un équipement unique de filtrage de l'air pour préserver la qualité de l'air dans la machine. Ce système filtre l'air entrant dans la machine par un ensemble de tampons de filtration, assurant un environnement de traitement propre avec une contamination minimale. SEMITOOL Equinox est un outil puissant pour la photolithographie et le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il offre un large éventail de capacités, ce qui le rend adapté aux environnements de production à haut volume, ainsi qu'aux laboratoires de recherche et développement.
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