Occasion SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400645 à vendre en France
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SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU est un équipement de photorésistance spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe. Le système combine une source lumineuse, une chambre de traitement et des systèmes de régulation de température en une seule solution. Il dispose également d'un réseau électroluminescent (LEA) dans la chambre de traitement qui permet une meilleure couverture lumineuse sur de larges substrats. La source lumineuse est basée sur un réseau de diodes électroluminescentes (LED) à couplage direct qui produit une irradiation UV à haute intensité, à spectre étroit (de 250 à 405nm), tout en maintenant un profil de température aussi bas que 149 ° C Cela garantit que les matériaux sont traités uniformément et uniformément. De plus, la taille des taches lumineuses peut être ajustée pour accueillir des substrats de différentes tailles. La chambre de procédé est étanche et sous pression, avec un échangeur de chaleur intégré pour maintenir des températures de substrat uniformes. Cette chambre est également équipée d'un élément sous vide, permettant l'utilisation de gaz inerte pour créer des environnements de traitement sans atmosphère. L'unité de régulation de température se compose de trois éléments de régulation de température indépendants : un réchauffeur céramique, une plaque chauffée électriquement (EHP) et une plaque chaude. Le réchauffeur céramique maintient la température désirée du substrat, tandis que l'EHP et la plaque chaude sont utilisés pour contrôler le profil de température de la chambre de procédé. OEM SAT 2081D2PCCU photoresist machine est conçu pour le traitement ultra rapide, avec un temps de cycle maximum de deux secondes. Il dispose également de la technologie anti-réflexion et de la manipulation avancée des substrats, ce qui le rend bien adapté à la création de dispositifs complexes. Le réglage flexible de la puissance de l'outil et le blindage d'avance de la lumière assurent une exposition uniforme des substrats, réduisant les erreurs de traitement dues aux effets de bord. En outre, l'actif dispose d'une répétabilité et de performances globales supérieures, le rendant hautement fiable même dans les conditions industrielles les plus strictes. Dans l'ensemble, SEMITOOL SAT 2081D2PCCU est un modèle photorésist bien conçu spécialement conçu pour une fabrication rapide et précise des semi-conducteurs. Il offre des performances fiables tout en gérant efficacement les variations de température dans l'environnement de traitement. Il est capable de gérer une gamme de substrats, ce qui en fait un choix idéal pour la production avancée de dispositifs semi-conducteurs.
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