Occasion SEMITOOL / OEM SAT 2081D2PCCU #9400646 à vendre en France

SEMITOOL/OEM SAT 2081D2PCCU est un équipement de photorésistance conçu pour une utilisation dans une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le système se compose d'une source de dépôt de couches minces à haute précision et à vide élevé, d'un tube réactionnel et d'une chambre de procédé à vide élevé. La source de dépôt en couches minces est un canon à électrons à courant pulsé rapide à 6 axes conçu pour déposer différents métaux et isolants, tels que le nitrure de titane, directement sur la surface de la plaquette. Il est également capable de déposer d'autres matériaux, tels que le dioxyde de silicium, dans le substrat. Le tube réactionnel est un dispositif de type rotatif qui fait circuler une solution de photorésist à haut débit. Ce procédé permet de convertir des portions spécifiques du substrat en masques photorésistants. La chambre de procédé est une grande chambre à vide en acier inoxydable qui abrite la source de dépôt en couches minces et le tube réactionnel. Il est capable de maintenir un niveau de vide dans la gamme 10-7 à 10-8 Torr. En plus des composants matériels, l'unité comprend un logiciel propriétaire qui permet à l'utilisateur de créer des recettes adaptées aux processus spécifiques de dépôt et de photorésistance. Les recettes permettent un contrôle précis des paramètres de la machine, tels que l'épaisseur du matériau déposé, la vitesse de circulation de la résine photosensible à travers le tube réactionnel, l'angle de positionnement de la source de dépôt de couches minces et la pression de vide dans la chambre de procédé. L'outil est conçu pour le traitement par lots et convient aux fabricants de semi-conducteurs de toutes tailles. Il offre un débit élevé, un excellent contrôle des processus et des économies de temps et de coût importantes. En outre, l'actif est très fiable, avec un temps moyen entre les taux d'échec supérieur à 99,9 %. Cela garantit la sécurité et l'efficacité de chaque procédé et élimine la nécessité d'un entretien fréquent. OEM SAT 2081D2PCCU est un modèle de photorésist robuste et économique idéal pour une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Sa grande variété de fonctionnalités et de capacités en font un choix de choix pour les clients qui cherchent à rationaliser leurs processus de photolithographie.