Occasion SEMITOOL PSC-101 #9173289 à vendre en France

SEMITOOL PSC-101 Photoresist Equipment est un système de traitement humide automatisé et complet conçu pour les opérations de photorésistance. C'est une unité de style modulaire avec une grande variété de capacités. Il se compose d'un corps principal, qui abrite les différents composants de l'équipement, et les automates, qui sont utilisés pour charger les substrats dans la machine. L'outil de photorésistance se compose de plusieurs procédés distincts pour le développement et le dépôt de matériaux de photorésist, y compris les procédés de pré-traitement, de résistance, de cuisson post-exposition, de développement et de bande/rinçage. Les composants individuels sont conçus pour fournir des performances optimales pour chacune de ces étapes. Le procédé de prétraitement comprend du PECVD, où le substrat est oxydé, tandis que le procédé de couche de résine est conçu pour appliquer uniformément de la résine photosensible sur le substrat. Le procédé de cuisson post-exposition est conçu pour durcir la résine photosensible et évaporer les solvants, tandis que le procédé de développement utilise une méthode de pulvérisation à chaud ou sans électricité pour éliminer la résine photosensible non exposée. Le procédé bande/rinçage élimine alors la résine photosensible restante de la plaquette. L'actif photorésist est contrôlé par le logiciel SEMITOOL Printing Model Interface (PSI). Le fonctionnement de l'équipement est entièrement automatisé grâce au logiciel PSI permettant la précision, l'uniformité et la répétabilité dans tous les processus. En plus de la capacité autoloader, le système peut également être mis en place avec une variété de processus manuels tels que le chargement de substrat et le réglage manuel de résistance. L'unité photorésist est conçue pour être facile à utiliser, à entretenir et à mettre à niveau. La fonction de connectivité et la capacité d'entrée/sortie à distance permettent le fonctionnement à distance, la surveillance en temps réel et le diagnostic de la machine. La machine est également conçue pour un temps d'arrêt minimal avec plusieurs options pour l'entretien préventif, y compris l'arrêt automatique de l'étanche de résistance si la piste de mag sort de la tolérance. Dans l'ensemble, SEMITOOL PSC 101 Photoresist Tool est un outil de traitement humide automatisé très efficace conçu pour fournir des processus photorésistants de haute qualité avec précision, répétabilité et temps d'arrêt minimal. Ses caractéristiques telles que la connectivité, la capacité d'entrée/sortie à distance et les options de maintenance préventive en font un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la recherche et d'autres opérations photorésistantes.