Occasion SEMITOOL Raider ECD 210 #9355393 à vendre en France
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ID: 9355393
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Electroplating system, 8"
Model no: R310PD2 (1SA2CFD1CAP) 08 (CuNi) 03
(3) Cassette WIPs
Linear dual arm robot
With single vacuum end effector
Advanced Replenishment Unit (ARU)
(2) Chemical Delivery Units (CDU)
(2) Heat exchangers
DI Boost pump
Fire suppression system
With (3) CO2 Bottles
Computers:
WIP Computer
Module Computer
Robot Computer
Controllers:
Front User Interface (FUI)
Rear User Interface (RUI)
502 Controller
Operating system: Windows embedded
Chamber mainframes:
CPC 2 / Capsule, backside clean and bevel etch
CPC 4 / ECD, CFD3M
CPC 7 / ECD, CFD3M
CPC 9 / SRD
Missing parts:
Rings and lip seals
Anodes
Power supply: 208 VAC, 50/60 Hz, 4 Wires, 3 Phase
2004 vintage.
SEMITOOL Raider ECD 210 est un équipement de photorésistance haut de gamme conçu pour des applications allant de la fabrication de semi-conducteurs à la fabrication de MEMS. Ce système est conçu pour déposer et strier la résine photosensible sur les plaquettes et les substrats pour créer une couche superficielle et permettre la construction de composants électroniques. Il intègre un balayage précis pour assurer une couverture uniforme de la couche sur toute la zone. Raider ECD 210 dispose d'un logiciel informatisé avancé et convivial, spécialement conçu pour un dépôt et un décapage plus rapides. Cette unité permet à l'opérateur de programmer des processus entiers dans l'ordinateur, tels que la vitesse et les débits de revêtement, ainsi que d'autres paramètres comme la pression et la température. SEMITOOL Raider ECD 210 permet un meilleur contrôle des substances en ajustant la température, la vitesse d'agitation et le rapport thermolenticulaire requis. Cette machine offre des vitesses de filage réglables et un confinement chimique des solutions, permettant un dépôt optimal et uniforme de résine photosensible sur la plaquette ou le substrat. Il offre une flexibilité généreuse et peut traiter une large gamme de substrats de différents matériaux, du silicium au quartz. La chambre de filage est facilement contrôlée, ce qui permet de mettre rapidement en place le procédé chimique. Il peut également contenir efficacement la solution chimique et réduire la contamination de la couche de résine photosensible. Raider ECD 210 est équipé d'un outil RFID pour suivre la localisation et le stockage des produits chimiques, assurant la sécurité des opérateurs. Il est également doté d'une interface intégrée pour contrôler avec précision la vitesse et la pression du processus de revêtement. De plus, afin d'assurer un fonctionnement plus lisse et la qualité de la couche photosensible, cet actif est intégré à un procédé de décapage sous vide. Afin d'obtenir des résultats cohérents, SEMITOOL Raider ECD 210 a des fonctions de surveillance et de contrôle intégrées. Ce modèle est conçu avec une technologie de pointe et fournit des rendements constamment élevés, avec un faible coût de propriété. Raider ECD 210 est adapté à une variété d'applications, y compris la fabrication de circuits intégrés et l'assemblage MEMS.
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