Occasion SEMITOOL Raider ECD 300 #9223828 à vendre en France
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ID: 9223828
Wet process etcher
EFEM
Main body
Monitor rack
Filter
Filter cover
Power box
Parts box
Pallet:
Blower filter
(6) Power supplies.
SEMITOOL Raider ECD 300 est un équipement de photorésistance qui est utilisé pour appliquer une substance opaque, sensible à la lumière sur une partie sélectionnée d'une plaquette de semi-conducteur avant gravure ou autre traitement ultérieur. Cet équipement est spécifiquement conçu pour fournir un plus grand degré de précision et de fiabilité de la photolithographie. Raider ECD 300 utilise la technologie des dépôts chimiques induits par faisceau d'électrons (EBID), qui est une variation du dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Un faisceau d'électrons est dirigé sur la plaquette, créant des électrons et des ions dans le gaz autour de la plaquette, qui réagissent avec le matériau photorésiste et forment un blanchet opaque sur la partie choisie de la plaquette. Ce procédé est capable de détecter et de contrôler le tassement de la résine photosensible de 2 à 500 um, avec des tailles de caractéristiques aussi petites que 0,3 um. SEMITOOL Raider ECD 300 est fourni avec du matériel conçu pour augmenter la vitesse de fonctionnement et augmenter la reproductibilité et la fiabilité. Cela inclut l'auto-focalisation et la capacité de nivellement des plaquettes, assurant que le motif de la résine photosensible est appliqué efficacement et avec précision. Le système est également équipé d'une rotation d'étage automatisée pour un temps minimal d'imagerie réticulaire. Raider ECD 300 a la capacité de supporter différentes résistances photo, de 400 nm à 1000 nm d'épaisseur avec une grande capacité de rapport d'aspect. Il est également capable de traiter à chaud et à froid une résistance monobloc jusqu'à 600 ° C. En outre, l'unité dispose d'une technologie de vide avancée, permettant un revêtement de spin de résistance fiable, réduisant les émissions de particules, et assurant une durée de vie prolongée de la chambre. Les commandes avancées du SEMITOOL Raider ECD 300 et ses capteurs de haute précision permettent une application cohérente de la résine photosensible sur la plaquette. Le contrôle serré des paramètres d'exposition assure une épaisseur uniforme sur la surface de la plaquette et permet un contrôle précis des dimensions critiques du motif. Dans l'ensemble, Raider ECD 300 est un outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, et il est adapté à des applications nécessitant des mesures de précision à grande vitesse, telles que le traitement de dispositifs de haute puissance, la mémoire SONOS et les puces microfluidiques. Les fonctionnalités et les capacités avancées de la machine en font un outil fiable et efficace pour la photolithographie.
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