Occasion SEMITOOL Raider ECD 310 #9236557 à vendre en France

SEMITOOL Raider ECD 310 est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour le traitement de lithographie de haute précision. Il est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de taille, avec une taille de caractéristique minimale de 10 microns. Le système utilise un nouveau procédé de dépôt électrochimique (DCE) pour l'application de la résine photosensible. Ce procédé a été développé pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs en ce qui concerne la cohérence des profils de film, la résolution et la répétabilité des processus. L'ECD 310 utilise une combinaison de technologies exclusives de résistance et de vecteurs électrochimiques précis pour y parvenir. L'unité dispose d'un étage de plaquette entièrement automatisé, permettant un chargement et un déchargement rapides du substrat. Ceci est combiné avec la distribution automatisée de résistance, l'exposition des plaquettes et les capacités de lavage pour un traitement lithographique efficace. Le profil de résistance est optimisé avec l'utilisation de cales de précision et de têtes de pulvérisation pour assurer l'uniformité sur la plaquette et minimiser la variabilité du processus. La machine comprend une hotte de résistance et une capacité d'extraction des fumées pour assurer le confinement des matières dangereuses. Les fonctions de gestion automatisée du matériel assurent que la quantité appropriée de résistance est utilisée dans chaque application, et le bon type est choisi, tandis que le détecteur RI intégré permet une surveillance continue pour la rétroaction en temps réel et le contrôle de la qualité. L'outil est activé en réseau pour l'accès à distance et la surveillance. Cela permet la surveillance à distance des paramètres du processus, et la capacité de contrôler les niveaux des réservoirs de résistance à partir d'un endroit externe. L'actif dispose également de fonctionnalités de modèle de vision haute résolution pour l'inspection in situ des plaquettes, permettant d'analyser les défauts avant et après le traitement. SEMITOOL RAIDER ECD-310 est un équipement de traitement de lithographie de précision à haut débit, conçu pour répondre aux normes strictes de l'industrie. Il combine des contrôles automatisés, des technologies de livraison de haute précision et des fonctionnalités de système de vision pour garantir une application de résistance cohérente, précise et répétable pour le traitement de lithographie avancée sur une variété de substrats.