Occasion SEMITOOL Raider ECD 310 #9357913 à vendre en France
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ID: 9357913
Taille de la plaquette: 12"
Electroplating system, 12"
Ulpa filtration, P/N: 70006-401
(3) Exhausts
Drip pan
LT Process robot, P/N: 610T0300-01
Station control
User Interface:
Rear, P/N: 650T0030-03
Front, P/N: 650T0030-501
Operating system: Embedded XP system
(2) USB Ports
Metrology unit, P/N: 90005-81
Buffer station, P/N: 640T0377-01
Transfer robot, P/N: 610T0300-01
FOUP / Cassette:
ENTEGRIS F300 Auto pod, P/N: 01-018675
Wafer diameter: 300 ± 0.25 mm
Wafer pitch: Half Pitch
Wafer mapping capability:
E84 Parallel I/O sensors, P/N: 4012-25
E99 Carrier ID reader
(3) HERMOS RF Tag readers
(3) FOUP Load ports, P/N: 640T0147-505
Chemical connections:
Line-1: Catholyte A 180L
Line-2: Anolyte A 65L
Line-5: H2SO4
Line-6: H2O2
Line-7: CDA
Line-8: DI
Line-9: N2
Line-10: House vacuum
Line-11: CO2 Fire suppression
Photospec probe, P/N: 90005-01
pH Probe, P/N: 61326-16
Sampling port, P/N: 429T1635-503
RTA Probe, P/N: 90005-50
Real time analyzer: Gold box
Drain
Chamber 1 and 2:
Rinse dry with bevel etch capability
Lift automation assembly, P/N: 200T0085-03
Mixing tank, P/N: 330T0188-01
Delivery tank, P/N: 330T0190-15
Bowl, P/N: 100T0143-09
Temperature control: Heating / Cooling coils
N2 Dryer
Chamber 3, 4, 5, 6 and 7:
Electroplating chamber with membrane
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
Ring rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Wafer rinse nozzle, P/N: 341T0043-01
Power supply, P/N: 900C0329-01
Chamber 8:
Automation assembly L/R, P/N: 240T0057-01
Catholyte tank, P/N: 330T0186-515
Anolyte tank, P/N: 330T0243-501
Temperature control: Heating / Cooling coils
Anodes, P/N: 14400-90
Membrane, P/N: 111T1388-03
Filter, P/N: 7004-63
Pump, P/N: 70959-31
De-bubbler, P/N: 119T1289-03
De-bubbler, P/N: 119T1289-0
Does no include Hard Disk Drive (HDD).
SEMITOOL Raider ECD 310 est un équipement de photorésistance conçu pour la fabrication de cellules photovoltaïques et autres dispositifs semi-conducteurs. C'est le dernier ajout à SEMITOOL Raider famille de systèmes de résistance, conçu pour simplifier le processus de dépôt de photorésist. SEMITOOL RAIDER ECD-310 fournit une plate-forme fiable et performante pour le pochoir des masques de pochoir avec une gamme de fonctionnalités simplifiant le processus de fabrication des masques de pochoir. Le système dispose d'un système robotisé de pointe qui permet le dépôt de fluides d'une manière hautement contrôlée et répétable, couvrant jusqu'à six pieds carrés avec une seule course. Le sprayrobot à deux axes de précision Raider ECD 310 permet un placement plus précis du pochoir, minimisant les déchets et permettant un enregistrement précis du masque. L'unité comprend également une caméra personnalisée et haute résolution qui permet une visualisation précise du masque et une visualisation facile des étapes du processus. Cela permet de s'assurer que toutes les étapes du processus sont effectuées avec une précision d'environ 15 μ. La machine utilise un laser UV de haute puissance qui fournit la puissance nécessaire pour résister de façon optimale à la résistance. RAIDER ECD-310 utilise également un outil à vide élevé pour maintenir la basse température requise pour le dépôt de résine photosensible, ainsi que pour extraire l'humidité et les contaminants atmosphériques. L'actif intègre également l'utilisation d'un logiciel pour faciliter la configuration, la répétabilité et la maintenance des paramètres de sprayrobot. Ce logiciel simplifie l'étalonnage des sprayrobot, économise du temps et réduit le potentiel d'erreurs. En plus de la photorésistance de pulvérisation, SEMITOOL Raider ECD 310 peut également effectuer des gravures chimiques par voie humide, permettant la fabrication même des dispositifs photovoltaïques les plus complexes. SEMITOOL RAIDER ECD-310 est un modèle intuitif et facile à utiliser qui offre une excellente précision, répétabilité et précision. Sa gamme de caractéristiques en font une solution idéale pour la production de cellules et d'appareils photovoltaïques.
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