Occasion SEMITOOL Raider ECD 310 #9384185 à vendre en France

SEMITOOL Raider ECD 310 est un équipement de bande photorésist spécialement conçu pour le traitement de haute précision de grands substrats pour la fabrication et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il est équipé d'une source de faisceau d'ions double propriétaire qui utilise un seul module capable à la fois de délivrer des électrons et des faisceaux d'ions. SEMITOOL RAIDER ECD-310 dispose d'un système breveté d'exposition à double film (DFE) pour une définition optimisée des motifs. La technologie DFE utilise à la fois un faisceau d'électrons « doux » et un faisceau d'ions « dur » pour exposer une seule couche de photorésist. Cette combinaison permet d'améliorer la définition des motifs et de réduire le nombre d'opérations nécessaires au transfert des motifs. Le ECD 310 a un champ de vision (FOV) qui couvre des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre pour des réticules jusqu'à 12 pouces avec une précision ± 6 microns. L'unité est configurable pour être utilisée soit pour l'épuration des plaquettes, soit pour le rayonnement infrarouge. La machine dispose d'un outil intégré de surveillance d'alarme qui oriente l'utilisateur vers des changements dans les paramètres de fonctionnement. Raider ECD 310 est un outil de traitement de photorésistance efficace, fiable et convivial qui aide à soutenir diverses exigences de complexité et de performance dans la fabrication moderne de semi-conducteurs. Il dispose d'une interface de contrôle complète pour un traitement efficace et précis, avec la flexibilité de gérer à la fois les séries de production à grande échelle et semi-échelle. En outre, il est livré avec plusieurs caractéristiques de sécurité telles qu'un boîtier de sécurité triple chambre, des boucliers intégrés, et un échappement indépendant. De plus, RAIDER ECD-310 garantit une grande précision des paramètres critiques du processus grâce à sa fonction automatisée qui assure le contrôle externe, la surveillance et l'enregistrement de l'OBIR en cours de processus. Dans l'ensemble, ce modèle de bande de résine photosensible est conçu pour aider au traitement efficace, fiable et de haute précision des substrats.