Occasion SEMITOOL Raider #293635960 à vendre en France
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ID: 293635960
Taille de la plaquette: 12"
Single wafer processing system, 12"
Model No: RE12F2ECD1204
Substrate: Si, 12"
S2 Computer
502SE Controller
Remote PPS
MARATHON Standard
Interface: CDRU, AARU
(6) CCD Cameras
Process: Cu, Ni, Eutectic, High lead plating
Automation:
Type: (2) FOUP WIP (PGV Compatible)
COAXIAL HT Robot
STI Robot controller
End effect controller:
Edge grip
Wet transfer edge grip
FOUP ID: ASYST, P/N: 9750-2000-000
HERMOS RF Tag reader
Vacuum source
Wafer protrusion sensor
Process module:
CPC 1, 10, 12:
Process: SRD / Prewet
PTFE Spray chamber P/N: 271T0020-03
Rotor: Cantilever, N2 Wafer purge
Bulk fill supply with filter, 5"
IW Drain
Spray bar nozzel, P/N: 341 T0011-05
CPC 2:
Process: Ni Plating
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Anode, P/N: 110T0198-01, 111T0000-10
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction (Mechanical)
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
CPC 3, 4, 9:
Process: Solder plating (Eutectic)
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
CPC 5, 6, 7, 8:
Process: Solder plating (High lead)
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
CPC 11:
Process: Cu Plating
Chamber, P/N: 271T0130-01 CFD III
Ring, P/N: 213T1055-501
Anode, P/N: 111T1197-01
Plating PS, P/N: T16852-118
Wafer present sensor
Mercury contact
Wafer extraction
Flow meter on chemical line
Shield / Weir, P/N: 111T1204-511
Capacity: 48 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 50-55°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube
Sample port
CPC 2
Ni Plating solution
Carbon polishing filter
Conditioning electrodes
pH Monitor
Sight tube
Power supply
Tank 2: High lead solder
Capacity: 120 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25-35°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube
Sample port
CPC 5, 6, 7, 8
Chemical: High lead plating solution
Sight tube
Tank 3: Eutectic solder
Capacity: 120 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25-35°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: Bulk fill / CDU / Manual fill tube
Sample port
CPC 3, 4, 9
Chemical: Eutectic plating solution
Sight tube
Tank 4: Cu
Capacity: 48 L
Style: Unsealed NPP
Heat exchange coils
Temperature: 25°C
Filter, 10"
Sensor: (5) Floats
LEVITRONIX BPS 3 Pump
WK AP50 Pump
Supply: ARU / CDU / Bulk fill / Manual fill tube
Sample port
CPC 11
Cu Plating solution
Sight tube
Drains: IW, Eutectic, Hi lead, Ni, Cu
Options:
(3) Heater chillers
Dl Booster pump cabinet and Interface
Power supply: 480 V, 4 Wire, 3-Phase.
SEMITOOL Raider est un équipement de photorésistance automatisé de pointe conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de performance et de précision de la production actuelle de composants semi-conducteurs et électroniques. Ce système offre des capacités d'exposition et de traitement entièrement automatisées des plaquettes, permettant aux fabricants de maximiser les rendements, de réduire les coûts et d'augmenter le débit de production. Raider est équipé d'une unité d'exposition de précision de 8 pouces qui utilise 2048 faisceaux et un objectif d'ouverture numérique de 424 mm (NA) et peut appliquer des champs d'exposition allant jusqu'à 30 mm. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir la précision et la résolution nécessaires pour fournir les produits photorésistants de la plus haute qualité. La machine d'exposition est également équipée de capacités d'alignement de retrait et de serrage automatisé du substrat et de détection des bords, permettant une exposition et un alignement précis sur la surface du substrat. En plus de ses capacités d'exposition supérieures, SEMITOOL Raider Photoresist Tool dispose également d'une solution avancée de gestion des matériaux conçue pour rationaliser l'allocation des photorésistances et garantir la précision des paramètres et des paramètres de la recette. Cette solution logicielle avancée permet aux utilisateurs d'accéder rapidement et facilement, de visualiser et de mettre à jour des recettes pour chaque type de photorésist sans entrée manuelle. Cela élimine le potentiel d'erreur et garantit que toutes les recettes sont correctement structurées et optimisées pour des performances vierges. Raider comprend également une capacité de mesure intégrée des couches minces pour permettre aux clients de surveiller la qualité tout au long du cycle de vie de l'actif photorésist. Cette solution de mesure de la qualité permet des examens de qualité automatisés et manuels, fournissant des données et des analyses précieuses concernant l'épaisseur de résistance, l'uniformité et la qualité du revêtement. Ces éléments I contribuent à assurer la cohérence et la performance tout au long de la production tout en réduisant les coûts à court et à long terme. Dans l'ensemble, SEMITOOL Raider est un modèle de photorésist très sophistiqué et avancé qui offre des capacités supérieures d'exposition, de gestion des matériaux et de mesure des couches minces. Ses processus automatisés aident à maximiser les rendements, à réduire les coûts et à augmenter le débit de production. Grâce à des capacités avancées et à l'analyse des données, les fabricants peuvent compter sur Raider pour offrir des produits résistants de haute qualité et de haute précision.
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