Occasion SEMITOOL Raider #9018339 à vendre en France
URL copiée avec succès !
ID: 9018339
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2004
Wafer backside etcher, 6"
Configuration:
Process: backside and bevel etch/clean
Substrate: 6" Si with flats
Voltage: 380 V, 3 phase, 50/60 Hz, 5 wire
CE comp: yes
S2 comp: yes
Automation:
Type: 2 open cassette
Robot: STI single linear
End effector: edge grip
Pre-aligner: no
Cabinet:
Style: 2 chamber with WIP version 2
Material: PVC-C
Exhaust: bottom
Facilities: bottom
Fire supp: eng req (no external comp)
ULPA filters: standard (to cover both wafer handling area and chambers)
Process module:
CPC1/CPC2 backside layer etch
Chamber: 8" capsule
Rotor: 6" capsule I
DRVHD: capsule I
Auto: Raider L/R
MFC on N2 and IPA (top/bottom)
IPA vapor dry
Delivery systems:
Tank 1
Size: 20 L
Style: bottom draw
H/C: coils
Circ: recirc/reclaim
Filter: 5" 0.1 um
Level sensor: 3 floats
Pump: Levitronix BP-3 48 V
Supply: bulk fill
Delivery: CPC 1 & 2
Chem: dHF
Chemical trunk line delivered to bottom of CPC1/CPC2
SMTL transducer for all liquids
Drains: IPA, IW, HF
Options: (2) Affinity heater/chillers
Engineering required:
Cabinet
Elec pods
Automation
Process component integration
Electrical
Software
Plumbing layout
Gas flow monitoring and data logging
Robot interface
Manuals
Chiller/heater, 50 Hz, European
Chiller M75, 50 Hz, PD-2
2004 vintage.
L'équipement de photorésistance SEMITOOL Raider est un outil automatisé de photolithographie à haut débit utilisé pour modéliser les caractéristiques d'un dispositif semi-conducteur. Le système est équipé d'une robotique de précision qui sélectionne et place avec précision les plaquettes semi-conductrices d'une station de traitement à l'autre. Raider dispose d'un interféromètre laser pour un positionnement précis des plaquettes, d'une unité de verrouillage de charge pour un contrôle précis de la température et de la propreté de l'environnement, et d'un codeur/développeur de 0,5 micron pour un traitement conforme précis. La station de revêtement photorésist de SEMITOOL Raider est conçue pour enrober une fine couche de résiste sur la plaquette pour la préparer à la photolithographie. La machine offre des vitesses de revêtement de résistance jusqu'à 6 plaquettes par minute avec une précision et une résolution aussi faibles que 0,1 micron. La plaquette enrobée est ensuite déplacée vers la station photomasque où un laser infrarouge ou proche des UV éclaire les motifs désirés sur la photomasque. Cela permet d'éclairer de très petits motifs ou des dessins de circuits complets utilisant la même photomasque. La station de numérisation de Raider permet la programmation d'un motif de numérisation spécifique pour chaque plaquette. Cela garantit qu'une fonctionnalité individuelle ou la conception complète du circuit est précisément modelée sur la plaquette. Les motifs de résistance sont ensuite transférés sur la plaquette à l'aide de la station de développement de résine photosensible de SEMITOOL Raider. Cette station est également équipée d'un contrôle avancé de la température et de l'humidité pour assurer un processus cohérent. Raider est conçu pour améliorer la productivité du processus de photolithographie tout en maintenant des résultats reproductibles. Grâce à son contrôle rigoureux et à sa répétabilité, les utilisateurs peuvent s'attendre à des résultats fiables, cohérents et rentables. L'outil est également très compatible avec les produits chimiques de procédé, s'intégrant facilement avec divers produits chimiques et matériaux. Toutes ces fonctionnalités font de SEMITOOL Raider un choix idéal pour les utilisateurs à la recherche d'un actif de photolithographie fiable pour traiter leurs dispositifs semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques