Occasion SEMITOOL Raider #9018339 à vendre en France

SEMITOOL Raider
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
Raider
ID: 9018339
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2004
Wafer backside etcher, 6" Configuration: Process: backside and bevel etch/clean Substrate: 6" Si with flats Voltage: 380 V, 3 phase, 50/60 Hz, 5 wire CE comp: yes S2 comp: yes Automation: Type: 2 open cassette Robot: STI single linear End effector: edge grip Pre-aligner: no Cabinet: Style: 2 chamber with WIP version 2 Material: PVC-C Exhaust: bottom Facilities: bottom Fire supp: eng req (no external comp) ULPA filters: standard (to cover both wafer handling area and chambers) Process module: CPC1/CPC2 backside layer etch Chamber: 8" capsule Rotor: 6" capsule I DRVHD: capsule I Auto: Raider L/R MFC on N2 and IPA (top/bottom) IPA vapor dry Delivery systems: Tank 1 Size: 20 L Style: bottom draw H/C: coils Circ: recirc/reclaim Filter: 5" 0.1 um Level sensor: 3 floats Pump: Levitronix BP-3 48 V Supply: bulk fill Delivery: CPC 1 & 2 Chem: dHF Chemical trunk line delivered to bottom of CPC1/CPC2 SMTL transducer for all liquids Drains: IPA, IW, HF Options: (2) Affinity heater/chillers Engineering required: Cabinet Elec pods Automation Process component integration Electrical Software Plumbing layout Gas flow monitoring and data logging Robot interface Manuals Chiller/heater, 50 Hz, European Chiller M75, 50 Hz, PD-2 2004 vintage.
L'équipement de photorésistance SEMITOOL Raider est un outil automatisé de photolithographie à haut débit utilisé pour modéliser les caractéristiques d'un dispositif semi-conducteur. Le système est équipé d'une robotique de précision qui sélectionne et place avec précision les plaquettes semi-conductrices d'une station de traitement à l'autre. Raider dispose d'un interféromètre laser pour un positionnement précis des plaquettes, d'une unité de verrouillage de charge pour un contrôle précis de la température et de la propreté de l'environnement, et d'un codeur/développeur de 0,5 micron pour un traitement conforme précis. La station de revêtement photorésist de SEMITOOL Raider est conçue pour enrober une fine couche de résiste sur la plaquette pour la préparer à la photolithographie. La machine offre des vitesses de revêtement de résistance jusqu'à 6 plaquettes par minute avec une précision et une résolution aussi faibles que 0,1 micron. La plaquette enrobée est ensuite déplacée vers la station photomasque où un laser infrarouge ou proche des UV éclaire les motifs désirés sur la photomasque. Cela permet d'éclairer de très petits motifs ou des dessins de circuits complets utilisant la même photomasque. La station de numérisation de Raider permet la programmation d'un motif de numérisation spécifique pour chaque plaquette. Cela garantit qu'une fonctionnalité individuelle ou la conception complète du circuit est précisément modelée sur la plaquette. Les motifs de résistance sont ensuite transférés sur la plaquette à l'aide de la station de développement de résine photosensible de SEMITOOL Raider. Cette station est également équipée d'un contrôle avancé de la température et de l'humidité pour assurer un processus cohérent. Raider est conçu pour améliorer la productivité du processus de photolithographie tout en maintenant des résultats reproductibles. Grâce à son contrôle rigoureux et à sa répétabilité, les utilisateurs peuvent s'attendre à des résultats fiables, cohérents et rentables. L'outil est également très compatible avec les produits chimiques de procédé, s'intégrant facilement avec divers produits chimiques et matériaux. Toutes ces fonctionnalités font de SEMITOOL Raider un choix idéal pour les utilisateurs à la recherche d'un actif de photolithographie fiable pour traiter leurs dispositifs semi-conducteurs.
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