Occasion SEMITOOL RFS 500/700 #9216879 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
RFS 500/700
ID: 9216879
Spin rinse dryer (SRD).
SEMITOOL RFS 500/700 (Resist Film Stripper) est un équipement de photorésistance utilisé pour décaper, nettoyer et sécher des photorésistes tels que des masques de photorésist, des couches de photorésist pulvérisées et des bandes de photorésist. Il est conçu pour décaper et nettoyer les photorésistes sur une gamme de plaquettes, ou panneaux solaires, ou dans un environnement sous vide, avec une excellente uniformité. Le RFS 500/700 est un module de procédé unique conçu pour générer la pression, la température et le débit requis pour obtenir des résultats optimaux. Il se compose d'un contrôleur PD et d'un collecteur tri-gaz qui contrôlent les utilités nécessaires, telles que la purge, le remblayage et le rinçage de la chambre de procédé. L'unité utilise un pulvérisateur Micro pour mélanger et pulvériser l'agent de nettoyage de la résine photosensible avec de l'azote et de l'eau, ainsi que pour éliminer les résidus de la résine photosensible, avec un impact minimal sur le substrat sous-jacent. De plus, un convoyeur réglable à cinq points permet une répartition uniforme du fluide de nettoyage, afin de s'assurer qu'il n'y a pas d'enlèvement de film non uniforme. Une fois la résine photosensible décapée et nettoyée, elle est ensuite séchée par un vide à haut rendement. Ceci se fait à l'aide d'une pompe à turbo-vide, qui crée un débit d'air à haute vitesse qui évapore le solvant et les molécules d'air humidifié, permettant l'élimination rapide et sûre de la résine photosensible. SEMITOOL RFS 500/700 est conçu pour fournir des résultats cohérents et reproductibles avec une grande variété d'agents photorésistants et de substrats, ainsi qu'une large gamme de critères de température, de pression et de débit. Il est construit avec un système intégré d'alimentation et de ventilation, et donne accès à la chambre de procédés grâce à son logiciel sécurisé dédié, qui permet aux ingénieurs de surveiller le processus de dénudage et de nettoyage. Dans l'ensemble, SEMITOOL RFS 500/700 est une unité photorésiste efficace et fiable, capable d'éliminer une grande variété de photorésistes et de substrats, dans un environnement à vide élevé, pour une excellente uniformité. C'est une machine idéale pour toute opération qui nécessite le décapage et le nettoyage sûrs et cohérents des photorésists et des procédés similaires.
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