Occasion SEMITOOL / RHETECH EQ242S/PR #293628380 à vendre en France
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RHETECH EQ242S/PR est un équipement de traitement photorésistant de pointe conçu pour permettre des résultats de lithographie cohérents et fiables. Il est équipé d'un outil avancé de lithographie par faisceau E et d'un laser UV puissant, ce qui en fait une solution complète pour les applications de lithographie. La conception est optimisée pour un traitement rapide et répétable des photorésists, assurant des résultats de processus supérieurs. Il est capable de traiter une large gamme de photorésistants et permet un alignement rapide des plaquettes pour des temps de cycle réduits. Le système se compose de deux éléments clés ; une chambre de procédé sous vide contenant un seul outil de lithographie en faisceau E à cassette et une unité d'ablation laser UV. La machine dispose également d'un outil d'alignement planétaire des plaquettes, permettant un alignement précis et reproductible des plaquettes. La conception est optimisée pour la performance optimale de l'outil de lithographie E-beam, réduisant le temps de traitement et assurant des résultats de processus cohérents. L'actif comprend un contrôleur de processus intégré et un modèle d'acquisition de données. Cela permet un contrôle précis des processus et des paramètres du processus, ainsi que des résultats détaillés du processus d'enregistrement. L'équipement comprend également un système de manutention des plaquettes pour le chargement et le déchargement des plaquettes, ainsi que pour le lavage à l'air ambiant et l'amorçage. La conception est compatible salle blanche, avec des chambres de processus scellées empêchant la contamination de sources extérieures. SEMITOOL EQ242S/PR est une unité de traitement de résines photosensibles idéale pour de nombreuses applications industrielles et de recherche. Ses systèmes avancés de contrôle des processus et d'acquisition de données garantissent des résultats précis et reproductibles, et sa conception modulaire permet une intégration facile dans les flux de processus existants. Ses capacités lui permettent d'accueillir une large gamme de photorésists, ce qui en fait une solution polyvalente et fiable pour une grande variété de besoins de traitement de photorésist.
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