Occasion SEMITOOL / RHETECH P28SR11S-10001 #9357791 à vendre en France
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SEMITOOL/RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Equipment est un système automatisé de haute performance conçu pour traiter les plaquettes avec des couches de photorésist. Avec des fonctionnalités avancées et un module de nettoyage asservi Servo-Robot robuste, il est capable de manipuler les tissus photorésistants les plus difficiles, par exemple, les composés et les films minces. L'unité est composée de 4 composants principaux - une chambre de procédé, un module de manutention de liquide, une unité de contrôle PLC, et une unité d'échappement. La chambre de procédé a une conception unique qui permet à la machine de gérer et de contrôler la température de la plaquette avec précision et précision. Il comporte également une source de plasma pulsé basse pression à l'intérieur de la chambre qui est utilisée pour améliorer les performances de la résine photosensible. Le plasma créé à l'intérieur de la chambre est très cohérent et idéal pour la gravure et l'épaississement de la couche de résine photosensible. La chambre est également équipée de deux systèmes de sécurité - un module de détection d'oxygène et un filtre millimètre d'oxyde de titane - qui peuvent détecter toute présence d'oxygène et arrêter le processus en cas d'urgence. Le module de manutention du liquide est utilisé pour mesurer, distribuer et extraire des produits chimiques pour les processus photorésistants. Ce module dispose d'un dosage de précision et d'étages linéaires pour travailler avec des conteneurs de tailles spécifiques. Le dosage de précision utilise la précision assistée par robot pour extraire et distribuer des liquides. Le PLC (Programmable Logic Controller) est utilisé pour contrôler l'ensemble du processus. Ceci permet un contrôle précis et fiable de toutes les étapes du processus photorésist. L'unité d'échappement est conçue pour capter, contenir et évacuer les produits gazeux produits au cours du processus photorésist. Il dispose d'une grande variété de caractéristiques de sécurité pour assurer la sécurité de la main-d'oeuvre et réduire l'impact des fumées dangereuses. Ces caractéristiques comprennent une soupape de sécurité intégrée, un pare-flamme et un bouclier secondaire pour capter et gérer les rejets de gaz dangereux. Il comprend également un filtre ionisant en option pour réduire le risque d'accumulation statique d'électricité. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, RHETECH P28SR11S-10001 Photoresist Tool est l'outil idéal pour produire des photorésists haute performance avec précision et cohérence. L'actif garantit des résultats précis, avec une qualité de produit constante, ce qui en fait un outil idéal pour toute une gamme d'industries, y compris les semi-conducteurs, l'optoélectronique et bien d'autres.
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