Occasion SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265367 à vendre en France

SEMITOOL / RHETECH ST-870
ID: 9265367
Taille de la plaquette: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
SEMITOOL/RHETECH ST-870 est un équipement de photorésistance conçu pour permettre aux utilisateurs de réaliser des étapes de processus critiques, telles que le revêtement, le développement et l'imagerie de substrats de photorésist. Le système est équipé d'un bras robotique de précision qui atteint le substrat et le fait passer par plusieurs étapes séquentielles dans le processus de photorésistance. L'unité utilise le mode processus et le logiciel de contrôle de l'exposition pour le contrôle précis de la température du bain, la durée du processus photo et la détection prédéterminée des épaisseurs de film. En outre, la machine est équipée d'une caméra supérieure pour la reconnaissance du substrat, d'un moniteur haute résolution et d'un outil d'analyse d'image de haute précision. RHETECH ST-870 supporte une gamme de types de résines photosensibles, y compris le chrome positif et négatif, ZEP520A, AZ5214E et S1813. Il présente également des caractéristiques de pré-alignement du substrat, de contrôle du nombre d'étages d'exposition et de contrôle du temps de cycle du bain humide. L'actif est équipé d'une gamme complète d'images et de réglages automatiques d'images, permettant aux utilisateurs de produire des photorésists haute résolution avec une précision rigoureuse. SEMITOOL ST-870 est équipé d'un modèle de distribution à commande électronique pour le dépôt précis de résine photosensible dans des substrats rigides ou souples. Cet équipement de distribution permet de superposer avec précision la résine photosensible sur les substrats, ce qui permet aux utilisateurs de créer des motifs complexes avec une grande précision. ST-870 offre un système de développement intégré capable de fournir des résultats photorésistants cohérents. Cette unité de développement utilise une approche de spin-coat verticale avec des réglages de vitesse réglables pour des résultats optimaux pendant le cycle de développement. La machine permet jusqu'à six étapes de rinçage pour l'élimination complète de la résine photosensible du substrat. SEMITOOL/RHETECH ST-870 dispose également d'une station de nettoyage comprenant la purge à l'eau désionisée, le nettoyage au solvant, au dessiccant et à l'azote sec pour optimiser le processus post-développement. Le poste de nettoyage est conçu pour assurer un processus de cueillette uniforme et uniforme. Dans l'ensemble, l'outil RHETECH ST-870 est une plate-forme photorésist très polyvalente avec des capacités d'automatisation sophistiquées qui permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis dans la fabrication de substrats photorésistants. Cet atout convient à un large éventail d'utilisateurs, de la production de gros volumes aux opérations à plus petite échelle.
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