Occasion SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265368 à vendre en France
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ID: 9265368
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD), 6"
1997 vintage.
SEMITOOL/RHETECH ST-870 Photoresist Equipment utilise une technologie de développement chimique brevetée et de pointe pour permettre la fixation précise des matériaux métalliques, polyimides et photorésistes. Le système se compose de quatre modules, qui peuvent être utilisés indépendamment ou en combinaison pour créer des caractéristiques photorésistantes. Les modules comprennent un Masque Aligner, qui utilise une surface à motifs de précision sous vide et des micro-lentilles pour exposer les couches photorésistantes ; le mélangeur/écarteur, qui aide à la distribution uniforme de résine photosensible sur le substrat ; le réchauffeur, qui facilite la cuisson rapide pour la cristallisation contrôlée, et le réfrel, qui peut obtenir un degré élevé de gravure ou d'élimination des couches de résine photosensible. Le Masque Aligner est idéal pour les applications qui nécessitent un placement et un tissage précis et reproductible de la couche de résine photosensible. Les conceptions de l'unité intègrent des systèmes optiques avancés de séparation des faisceaux qui se traduisent par une grande exposition au champ plat avec une répartition égale de l'énergie sur la surface du substrat. Ceci garantit une précision de ± 0,5 micromètre, un fonctionnement à basse tension à 1,8 kV et un champ d'exposition important et stable pouvant atteindre 1,5 x 1,5 pouce. Le Mélangeur/Spreader offre un contrôle précis de la quantité de distribution de photorésist et la capacité de conditionner le liquide résistant pour une meilleure uniformité de revêtement. Ceci permet des couches photorésistantes faiblement défectueuses pour des applications électroniques. Une variété de recettes de température et d'agitation sont disponibles pour adapter divers aspects des processus de développement. Le réchauffeur est conçu pour le durcissement thermique rapide des couches de résines photosensibles. Cette conception de chauffage de pointe garantit une stabilité de température ± 0,2 degré Celsius et un contrôle en cours de processus de la température du substrat. Le Refrel est un outil efficace pour nettoyer les surfaces polymériques. Il offre un contrôle précis des taux de gravure et des profondeurs. Il dispose d'une chambre de procédé chauffée pouvant atteindre 285 ° C, et d'une conception qui permet une flexibilité totale pour diverses étapes de processus, et contribue à réduire le choc thermique du substrat. RHETECH ST-870 Photoresist Machine offre une gamme de capacités pour créer des motifs reproductibles sur des substrats pour des applications électriques, optoélectroniques et mécaniques. L'outil offre des économies de coûts aux fabricants, des revêtements précis et uniformes, une répétabilité dans la production de divers composants, et des temps de cycle réduits.
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