Occasion SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9265370 à vendre en France

SEMITOOL / RHETECH ST-870
ID: 9265370
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2010
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" 2010 vintage.
SEMITOOL/RHETECH ST-870 est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés avancés de gravure et de gravure. Le système a été conçu pour offrir une variété de tailles de fonctionnalités et de rapports d'aspect, et est utilisé pour créer des modèles nanométriques pour des milliers de composants électroniques différents. L'unité de photorésistance comprend un laser excimère, une machine à balayage par faisceau, une spatule magnétique et un four chauffé. Le faisceau laser excimère est utilisé pour éclairer le matériau photorésistant, qui est ensuite modélisé par l'outil de balayage du faisceau. La spatule magnétique est utilisée pour transférer le matériau modelé sur le substrat, tel qu'une plaquette de silicium. Le four chauffé est ensuite utilisé pour cuire la résine photosensible afin d'assurer une surface cohérente. RHETECH ST-870 offre une variété de fonctionnalités pour répondre aux besoins des processus de gravure et de gravure de précision. Il a une longueur d'onde de 248nm, permettant une lithographie précise. L'actif offre également jusqu'à 40mm de taille de champ pour les composants plus gros, et est stabilisé à 0,1 micron de précision. Le modèle a un contrôle de débit qui peut être réglé à 0,1-3 m/min selon le point de focalisation et la taille du substrat. De plus, SEMITOOL ST-870 dispose d'un contrôle actif de l'angle incident conçu pour minimiser l'ombre et la perte optique. ST-870 est un excellent équipement de photorésistance qui fournit une lithographie à grande vitesse, des analyses de précision et une gravure avancée pour une variété de composants. Il permet la création de motifs nanométriques avec des tailles de caractéristiques précises et des rapports d'aspect parfaits. Ce système fonctionne avec une variété de photorésistes, ce qui en fait une option polyvalente et fiable pour les processus de gravure et de gravure avancés.
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