Occasion SEMITOOL / RHETECH ST-870 #9288369 à vendre en France

L'équipement de photorésistance SEMITOOL/RHETECH ST-870 est un équipement développé pour le dépôt de photorésist sur des plaquettes afin de réaliser des circuits intégrés. Les photorésists sont des matériaux photosensibles qui sont utilisés dans la fabrication de microélectroniques pour transférer des motifs d'un photomasque à la surface d'une plaquette ou d'un substrat. RHETECH ST-870 est un système puissant et fiable conçu pour fournir des processus de photolithographie précis pour des exigences de conception ultra fine et de courtes fonctionnalités. SEMITOOL ST-870 se compose de divers composants, à commencer par le module de robot d'alignement de substrat (SAR) qui fournit un alignement de substrat de haute précision pour un recouvrement et une focalisation précis. Son chargeur automatisé contient une chambre refroidie spéciale pour maintenir la photorésist et réduire la génération de particules. Il est également équipé d'une unité de vision embarquée pour vérifier les défauts sur les plaquettes avant leur chargement. La machine comprend également un module de distribution de gaz (GDM) qui fournit les gaz chauffés ou refroidis nécessaires pour contrôler la température et la pression dans la chambre de dépôt. Le composant suivant est le module de dépôt, qui consiste en une source de dépôt sous vide et une technologie à double cuisson assurant un chauffage et un refroidissement uniformes et rapides des plaquettes. L'outil est en outre équipé d'une tête de pulvérisation qui est capable d'obtenir une variété d'angles de pulvérisation et de pressions de fonctionnement, permettant un plus grand contrôle sur le motif de résistance à la pulvérisation. Il utilise également un bulleur diélectrique à faible débit qui assure une couverture uniforme pour les dispositifs à haut rapport d'aspect. Enfin, la résine photosensible est appliquée à l'aide d'une source lumineuse UV TLD pulsée de forte puissance. Il offre un haut degré de flexibilité pour permettre aux utilisateurs de répondre à des dimensions difficiles et des géométries serrées. La source lumineuse est également équipée d'un verrou d'angle pour assurer une localisation et un alignement précis avec la photomasque. L'actif peut être utilisé avec différents types de plaquettes comme 8-12 pouces standard, 300mm et 450mm. Dans l'ensemble, ST-870 est un modèle photorésist puissant et fiable qui offre des niveaux élevés de précision et de précision pour produire des dispositifs microélectroniques complexes. Son chargeur automatisé et son bulleur diélectrique assurent un revêtement lisse et homogène de la résine photosensible. Sa source lumineuse à haute puissance permet un réglage et un alignement précis et ses modules de température et de distribution de gaz permettent un chauffage et un refroidissement uniformes des plaquettes. SEMITOOL/RHETECH ST-870 est un excellent choix pour la fabrication ciblée et précise de circuits microélectroniques.