Occasion SEMITOOL / RHETECH WST-306AC #9265377 à vendre en France
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ID: 9265377
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Spray solvent system, 6"
1997 vintage.
SEMITOOL/RHETECH WST-306AC est un équipement de photorésistance pour le traitement de substrat de plaquettes. Ce système est idéal pour le traitement des semi-conducteurs tels que les IC et les applications MEMS, Il intègre un certain nombre de fonctionnalités « intelligentes » pour améliorer le débit et la précision. Pour le traitement des plaquettes, RHETECH WST-306AC utilise un chauffe-piscine « retraité » propriétaire, offrant un contrôle de température plus uniforme et plus précis. Cette unité dispose également d'un design SubRack™, qui permet d'insérer jusqu'à trois modules à faible empreinte. Cette conception modulaire permet à l'utilisateur de personnaliser la machine en fonction de ses besoins spécifiques. En plus du chauffe-piscine, l'outil peut être équipé de modules de livraison de produits chimiques, d'élimination des déchets et de four, permettant des opérations distinctes au point d'utilisation ou par lots. SEMITOOL WST-306AC Photoresist Asset est construit et conçu en utilisant la technologie « intelligente », permettant d'améliorer la précision et le débit de traitement. Par exemple, le contrôleur de processus est équipé d'une fonction « Wafer Flow », qui permet au modèle de suivre la progression du substrat tout au long du processus. Cette fonctionnalité permet de contrôler automatiquement les paramètres de la plaquette en des points prédéterminés pendant toute la durée du processus. D'autres fonctionnalités intelligentes comprennent le contrôle de la recette de processus, le temps de cycle plus rapide, et le suivi de la recette. En inversant les impulsions, l'équipement peut contrôler avec précision les paramètres de prémélange, de rinçage, de température et de temps de cuisson. Cette technologie d'inversion d'impulsions est capable de contrôler avec une précision microseconde et est très reproductible. WST-306AC dispose également d'un processus de cendrage photorésist qui peut réduire l'accumulation de débris. Le système est équipé de dispositifs de sécurité redondants, qui comprennent la protection contre la tempérance excessive, la protection contre les dépassements et les arrêts thermiques. Ces caractéristiques protègent contre les erreurs de fonctionnement et/ou d'opérateur. Dans l'ensemble, SEMITOOL/RHETECH WST-306AC Photoresist Unit est un outil idéal pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Ses caractéristiques, telles que la technologie « intelligente », l'inversion des impulsions et la conception SubRack™, permettent un traitement efficace et contrôlé, avec un minimum de déchets et de temps d'arrêt.
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