Occasion SEMITOOL SAT 20605 #293830238 à vendre en France

SEMITOOL SAT 20605 est un équipement de traitement photorésist de pointe conçu pour fournir une solution précise, fiable et rentable pour le traitement des plaquettes et substrats semi-conducteurs. Le système est conçu pour traiter les plaquettes au moyen d'une variété de techniques telles que le revêtement de spin et post-cuisson, le transfert d'image, l'exposition, la gravure humide et sèche, l'électrodéposition et le dénudage. L'ensemble est logé dans quatre modules principaux distincts pour un maximum d'efficacité et de facilité d'utilisation. Le cœur de la machine est le Module de Traitement de Résines qui est utilisé pour délivrer des résines photosensibles aux plaquettes dans un motif uniforme, pour les exposer à la lumière, et pour développer la résiste après traitement. Le module Processeur contient quatre stations et un certain nombre d'autres outils et composants nécessaires au traitement des plaquettes. La première station se compose d'un Spin Coater et d'éléments chauffants associés qui sont utilisés pour étaler uniformément la résine photosensible sur la plaquette et faire cuire la résistance pour la guérir. La deuxième station contient un Masque Aligner qui est utilisé pour exposer la plaquette à des motifs légers et pour placer avec précision un masque sur la plaquette enrobée de spin. La troisième station comprend un détecteur d'image pour surveiller et ajuster l'intensité de la lumière ainsi qu'une plaque chauffante substrat pour le four post-exposition. La quatrième station contient un manipulateur de résine plastique et un certain nombre d'autres composants pour le traitement humide de la plaquette. Suite au traitement et à l'imagerie de la résistance photo, les plaquettes sont déplacées vers le module de bande pour la chimie humide et l'électrodéposition du film conducteur. L'extérieur du module est similaire au processeur Résist, mais l'intérieur contient un contrôle chimique pour pré-nettoyer et graver les plaquettes de silicium au besoin avant l'électrodéposition. L'outil comprend également des paramètres de placage réglables par l'utilisateur tels que la densité de courant et l'épuisement. Le module de bande contient également plusieurs outils de traitement par voie humide supplémentaires tels qu'une station de rinçage chauffée, un décapeur de résines pulvérisées, un solvant organique non chloré et un traitement à l'hydroxyde d'ammonium. Tous ces outils sont conçus pour fournir une suite complète de fonctions de nettoyage, gravure et électrodéposition. Le troisième module de l'actif est le Vacuum Module, qui permet de traiter des substrats de plaquettes plus délicats comme le verre et le polyimide. Ce module est le plus avancé du modèle, utilisant un certain nombre de techniques différentes, y compris la cure sous vide, ligands liants, pâte molle, et l'exposition. Le module contient une chambre à vide, un certain nombre d'autres composants et outils, et une fenêtre de visualisation pour l'inspection des substrats. Enfin, le module comprend le module de contrôle, qui contient le logiciel et le matériel nécessaires au contrôle et à la surveillance de l'équipement. Le module de contrôle comprend trois systèmes de contrôle distincts, qui sont utilisés pour surveiller les étapes du processus, la température du système et les limites. Il comprend également un certain nombre de fonctionnalités telles que l'enregistrement des données, les alertes de maintenance, la création et le contrôle de recettes, et la notification d'alarme. En résumé, SAT 20605 Photoresist Unit est conçu pour fournir une solution fiable pour traiter les plaquettes de manière rentable. Il est composé de quatre modules d'interconnexion, chacun avec ses propres composants et capacités, et est couplé avec un module de contrôle complet pour fournir une machine de contrôle de processus unifiée et facile à utiliser.