Occasion SEMITOOL SAT 2080S #9134041 à vendre en France

SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment est un système de gravure humide à l'échelle de quelques microns conçu pour aider les fabricants à graver les dispositifs semi-conducteurs avec précision. L'unité est automatiquement contrôlée par une interface logicielle qui rend les processus de gravure simples et précis. La machine est constituée d'un panneau central de commande, de deux photorésistants-injecteurs et d'un porte-substrat pour l'alignement des plaquettes. En outre, il est équipé d'une seule conduite de gaz avec plusieurs buses pour fournir du gaz réactif à la chambre de gravure, ainsi que de modules de contrôle de pression et de débit précis. Les photorésistants-injecteurs sont utilisés pour distribuer une quantité précise de photorésist directement sur la plaquette selon un motif optimal basé sur la taille et la forme du dispositif. Après application de la résine photosensible, elle est ensuite exposée à une source lumineuse qui est utilisée pour activer la résine photosensible dans des zones spécifiques. La résine photosensible non exposée est ensuite gravée, laissant derrière elle un motif correspondant à la source lumineuse utilisée. Les plaquettes sont ensuite placées sur le porte-substrat, où il y a une hauteur réglable pour assurer une pression précise sur les plaquettes. La hauteur réglable et les contrôles de pression offrent des processus de gravure optimisés avec une faible contrainte physique sur les substrats. De plus, des revêtements de nettoyage et antireflet peuvent être appliqués sur les substrats avant la gravure, afin d'assurer des conditions de surface optimales et de réduire la pellicule. La conduite de gaz se connecte à l'ensemble de l'outil pour fournir des gaz réactifs à la chambre de gravure. Ce tube de gaz assure une distribution d'écoulement cohérente et fiable et une exposition uniforme à la chambre de gravure. En outre, l'actif comprend des modules de contrôle de pression et de débit qui aident à contrôler avec précision le flux de gaz réactifs vers la chambre, assurant que tout le processus de gravure est précis et précis. Enfin, le panneau de commande central permet aux opérateurs de surveiller et de contrôler l'ensemble du modèle. Ce panneau est équipé d'une séquence de démarrage rapide, ainsi que de relevés d'état, de diagnostic et d'antécédents diagnostiques. L'interface utilisateur graphique sur le panneau rend l'installation et la maintenance de l'équipement simple et efficace pour les opérateurs. SAT 2080S Photoresist System est un outil puissant pour la gravure de dispositifs semi-conducteurs avec sophistication et précision. Avec ses composants intégrés et ses commandes, cette unité est une solution idéale pour les fabricants du monde entier.