Occasion SEMITOOL SAT 2080S #9210337 à vendre en France
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SEMITOOL SAT 2080S Photoresist Equipment est un système de lithographie haute performance et haute capacité largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. L'unité fournit des rendements maximums et permet des flux de processus répétables en répondant aux spécifications et exigences les plus difficiles. Cette machine utilise des capacités modernes de balayage à deux longueurs d'onde et d'exposition pas à pas et répétition pour répondre au besoin de niveaux de résolution les plus élevés requis par les technologies de transistor avancées et futures. L'outil est basé sur deux longueurs d'onde SpectraBroadbandâ "¢ avec une longueur d'onde proche infrarouge (NIR) de 775nm, permettant des structures plus petites et une résolution plus élevée. L'actif comprend également un concept unique de tunnel auto-exposition (AET), qui automatise le cycle d'exposition et offre un débit plus élevé, des rendements plus élevés et un meilleur contrôle de la qualité. Le modèle est également équipé de fonctions intégrées de surveillance des processus telles que la rétroaction complète de la métrologie, le diagnostic et le contrôle des processus de wafer, et la caractérisation des défauts de recette. Cela permet d'améliorer la compréhension des processus, la détection des défauts au niveau des plaquettes et la prédiction des défauts liés aux motifs. L'équipement offre également une flexibilité multi-processus et multi-produits, avec un module de gravure à double chambre en option ainsi que des chambres externes pour le traitement avant et après gravure. En outre, il est disponible avec le lecteur de codes-barres NexBarÂMD, qui automatise le processus de gestion des cassettes et assure la précision. SAT 2080S Photoresist System est un outil haut de gamme idéal pour la recherche et la production. Il exploite l'optique avancée, l'automatisation, les outils de suivi des processus et les stratégies d'amélioration des rendements pour fournir des rendements plus élevés et des flux de processus répétables. Sa capacité à répondre aux spécifications les plus exigeantes garantit que cette unité restera une solution leader dans l'industrie pendant de nombreuses années à venir.
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