Occasion SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU #9120981 à vendre en France

ID: 9120981
Taille de la plaquette: 6"
Spray acid tool, 6" Chamber Cabinet, 76" Capacity: Single 25-wafer cassette, 8" Heated chemical tank Pneumatic trebor pump for chemical delivery Fill vessel AO Metering pump Hot DI water loop Ozone injection: Ozone ready (ozone generator not included) Capable of bulk fill hook-up (external) Touch screen interface Light tower Operator manuals and documentation Power: 208 V, 3 Phase, 40 A, 50/60 Hz.
SEMITOOL SAT1080SOA1PCAU est un équipement de revêtement photorésistant entièrement automatique conçu pour répondre aux exigences des procédés lithographiques avancés. Le système assure un contrôle automatique précis de la vitesse de rotation, du temps de stagnation, du temps de pulvérisation, du volume de pulvérisation et de la température du substrat afin d'assurer une utilisation optimale du matériau et des performances supérieures du substrat. L'unité est capable de mesurer avec précision une variété de photorésists pour le revêtement sur des substrats allant de 4 à 12 pouces de diamètre. Un procédé de vide dynamique couplé à un étage tournant 360 permet aux substrats de rester parfaitement immobiles lors de la pulvérisation. La machine est équipée d'une fonction de nettoyage automatique pour s'assurer qu'aucun résidu n'est laissé sur le substrat entre les cycles. L'outil dispose d'un moteur synchrone AC propriétaire à vitesse variable. Le moteur est commandé par une commande numérique avec des réglages variables qui permettent aux utilisateurs de régler n'importe quelle vitesse de rotation de 500 à 4500 tr/min, ainsi qu'un temps de rotation variable de 1 à 4 secondes. Ceci permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la vitesse de rotation et la quantité de résistance appliquée sur le substrat. Le mécanisme de pulvérisation intégré peut fournir une variété de photorésistants jusqu'à 6 millilitres (ml) par minute, lui permettant d'atteindre le débit élevé requis pour les procédés lithographiques avancés. L'actif dispose également d'une fonction unique de régulation de la température qui assure un chauffage uniforme du substrat pendant le processus de pulvérisation. Cela élimine les différences de température qui peuvent causer des incohérences matérielles, ainsi que des températures de processus trop élevées. Le modèle est livré avec un logiciel complet qui permet aux utilisateurs de personnaliser des paramètres tels que la vitesse du cycle de pulvérisation, la vitesse de pulvérisation, le temps de pulvérisation, le volume de pulvérisation et la température du substrat. Ces paramètres peuvent être sauvegardés dans un fichier et rappelés au besoin. L'équipement comprend également un affichage graphique qui indique l'état du processus et les codes d'erreur pour la maintenance. Pour des performances supérieures, SAT1080SOA1PCAU est un excellent choix pour les laboratoires de lithographie qui nécessitent un spin photorésist précis et fiable et un revêtement de pulvérisation. Le système offre un ensemble de fonctionnalités robuste, une excellente précision et un fonctionnement facile, permettant aux utilisateurs d'optimiser leurs processus pour des besoins uniques et d'assurer une utilisation optimale des matériaux et des performances de substrat supérieures.
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