Occasion SEMITOOL Sirius #293622591 à vendre en France

Fabricant
SEMITOOL
Modèle
Sirius
ID: 293622591
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
System, 12" Rotor, 8" Stainless steel 316 Process: Spray ozone Ammonia process modules ASTEX AX8400 Ozone generator system BMT 930 Ozone monitor Ammonia tank Mix control Standard pneumatic panel DI Panel O2 Panel NH4OH Panel Motor Control TREBOR Quantum 30 Hot DI system Voltage: 380 VAC, 45 Amp Power supply: 50/60 Hz, 208 VAC Full load current: 45 AMP Largest motor or load :20 Amp 2008 vintage.
SEMITOOL Sirius est un équipement photorésist entièrement automatisé fabriqué par SEMITOOL. Il est développé pour des applications avancées de photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système offre des fonctionnalités de haute performance telles que le balayage activé au laser et la bande de résistance sans contact, la manipulation et le traitement automatisés des plaquettes, et une interface utilisateur simple. L'unité Sirius est conçue pour atteindre le plus haut niveau de pré-traitement de surface des plaquettes. Il permet le dépôt précis de photorésist sur une surface de substrat et maintient l'homogénéité de surface adaptée au traitement de micro-lithographie. La machine est composée d'une seule chambre, d'une tête de traitement et d'une source d'alimentation en courant continu. La tête de traitement est équipée d'un dyejet qui délivre de la résine photosensible à la surface de la plaquette avant le dépôt. L'outil dyejet est monté sur un manipulateur, et est programmé pour modeler la surface de la plaquette selon un ensemble d'instructions programmées. SEMITOOL Sirius dispose d'une technologie intégrée de redressement automatique pour garantir la précision et les performances fiables du processus de micro-lithographie. Il utilise un outil de balayage guidé par laser qui ajuste avec précision l'angle et l'alignement de la tête de balayage par rapport à la surface de la plaquette. Sirius offre également une fonction de bande de résistance sans contact, qui permet un meilleur contrôle du processus de bande et élimine le besoin de manutention manuelle. Le modèle SEMITOOL Sirius dispose d'une interface graphique conviviale (interface graphique) et est entièrement compatible avec les logiciels standard. Il est modulaire dans la conception et peut être amélioré avec des fonctionnalités et des pièces supplémentaires si nécessaire. L'équipement dispose de fonctions d'auto-test et d'un système de diagnostic pour assurer un dépôt de résines photosensibles fiable. L'unité Sirius est idéale pour les applications avancées de photolithographie, offrant une haute résolution, une précision et une répétabilité des processus. La machine est fiable, efficace et rentable, ce qui en fait un excellent choix pour les applications de l'industrie des semi-conducteurs.
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