Occasion SEMITOOL Sirius #293671310 à vendre en France

SEMITOOL Sirius Photoresist Processing Equipment est une plate-forme fiable et efficace conçue pour optimiser le traitement des photorésistances pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. Sirius intègre un design unique et innovant qui utilise des technologies brevetées pour fournir des résultats de traitement précis à chaque cycle. Cette plate-forme modulaire autonome ou intégrée comprend une plate-forme intégrée efficace avec deux modules de voie indépendants, des modules avec une conception à cadre ouvert qui accueillera une variété de navires de processus, et une variété de modules de processus indépendants. SEMITOOL Sirius Platform dispose de deux modules principaux, le module développeur et le module Stripper. Le module développeur se compose de processus tels que la couche de photorésist exposée au spin, le développement de la photorésist et l'exposition pré-impulsionnelle. Le module de décapage se compose de processus tels que le décapage par voie humide, le décapage par voie sèche et le cendrage. Les modules comportent des systèmes de contrôle des processus manuels et automatisés qui permettent aux opérateurs de surveiller les paramètres des processus et de générer des rapports. Les modules sont également équipés de dispositifs de sécurité qui aident à protéger contre les dangers de l'exposition chimique. Sirius Photoresist Processing System offre des résultats de processus de haute précision et une précision supérieure. L'unité est construite avec un double toit qui minimise la contamination des particules et empêche les échanges de chaleur dans la chambre de processus. La température du procédé peut être réglée entre 20 et 70 ° C et la machine peut contrôler avec précision la pression du procédé à 0,5 bar près. SEMITOOL Sirius permet également la personnalisation de la recette de procédé pour garantir des résultats optimaux indépendamment du matériau de couche et de l'application. L'outil permet également l'intégration de différentes technologies de post-traitement telles que l'ashing, la gravure, l'exposition au plasma et l'élimination post-développement. Sirius est conçu pour fournir à la fois l'efficacité du processus et l'assurance de la qualité dans le traitement des résines photosensibles. Sa conception à double toit, sa sécurité intégrée, sa capacité de personnalisation des recettes et la manipulation des paramètres du processus font de l'actif une plate-forme fiable et rentable pour le traitement des résines photosensibles.