Occasion SEMITOOL Spectrum #9124180 à vendre en France
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ID: 9124180
Taille de la plaquette: 6-12"
Style Vintage: 2000
Spray acid system, 6"-12"
Spray solvent batch wafer chemical system
(8) Tanks
(2) Cabinets / Spray solvent modules
(1) CPC chemcial process chamber
(5) Gallon tanks
(1) Spin rinse dryer
(4) Axis linear track robots
2000 vintage.
SEMITOOL Spectrum est un équipement conçu pour le traitement photorésistant de produits semi-conducteurs et de circuits intégrés. Le système est conçu pour combler l'écart entre les performances et le coût des systèmes de banc humide et des processeurs photorésistants dédiés à l'interne. L'unité offre une large gamme de fonctionnalités et de fonctionnalités qui le rendent adapté à une variété d'applications. Spectre comprend un four à deux étages et deux modules de poudre conçus sur mesure, avec des caractéristiques supplémentaires telles qu'une varistance, un tunnel sans hydrocarbures et un supplément de 5 cm pour une précision et un débit accrus. La machine a une plage de température basse de 39-600 ° C, une atmosphère d'azote contrôlée et peut contenir jusqu'à 20 plaquettes par four batch. L'outil offre un choix d'options programmables, permettant aux clients de personnaliser l'actif pour répondre aux besoins individuels. Ceci comprend un profil de solution, des réglages par séquence, un réglage in situ du champ électrique, un contrôle de diffusion et une mémoire non volatile. Le modèle est conçu pour des performances de revêtement haute précision et haute température. Il offre une précision de 0,5 µm, avec une résolution d'étape de 0,02 µm et des réglages de résolution dynamique pour permettre un contrôle précis du processus. En outre, l'équipement a une uniformité de température inférieure à ± 0,3 ° C à travers la plaquette et la chambre. Les fonctionnalités de SEMITOOL Spectrum bénéficient également de ses fonctions de diagnostic et de maintenance avancées, qui comprennent les diagnostics de processus et de chambre, ainsi que la maintenance prédictive, ce qui permet de minimiser les temps d'arrêt. Le système a également été conçu en tenant compte de la sécurité. Il dispose d'emboîtements intégrés, qui protègent les opérateurs contre les blessures dues aux matières dangereuses, ainsi que de systèmes de décompression et de décompression. De plus, la bibliothèque documentaire de l'unité aide les opérateurs à diagnostiquer les problèmes. Spectrum est une machine fiable et efficace pour le traitement de photorésist pour les produits semi-conducteurs et de circuits intégrés. Ses caractéristiques en font un choix rentable pour ses utilisateurs.
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