Occasion SEMITOOL Spectrum #9232917 à vendre en France

SEMITOOL Spectrum est un équipement de photorésistance qui permet aux utilisateurs de tracer rapidement et avec précision divers matériaux de photorésistance. Il se compose d'une multitude de composants, chacun avec des fonctions distinctes, qui permettent le traitement par lots efficace des plaquettes. Spectre dispose d'une gamme complète de caractéristiques, y compris une plus grande chambre de processus pour l'augmentation du débit et de la dispersion des gaz, une meilleure compatibilité des résines photosensibles à basse température pour une meilleure qualité de traitement, et un meilleur contrôle du développement et de l'uniformité des dépôts. Le processus commence par un module de prétraitement ; c'est là que les plaquettes sont nettoyées et prétraitées. Ils sont ensuite revêtus de résine photosensible. Ensuite, ils se rendent au module d'exposition. Ici, les plaquettes sont exposées à une source lumineuse programmée et modulée. Après exposition, les plaquettes sont transférées au module du développeur. C'est là que la résine photosensible exposée est chimiquement développée, ce qui permet aux produits chimiques réactifs légers de durcir ou de se dissoudre selon leur type. Après mise au point de la résine photosensible, les plaquettes sont transférées au module de gravure plasma. A l'aide d'un plasma, le module de gravure s'évapore de la surface de la plaquette. Il en résulte une couche photorésistante modelée. Enfin, le module contient un module de gravure sèche, qui utilise une combinaison de gaz, de particules ionisées et de tension électrique pour éliminer tout résidu de résine photosensible indésirable. SEMITOOL Spectrum est capable de loger différents types et dimensions de substrats et de matériaux photomasques. Le système est équipé de la technologie ultra-précise Leica™ pour l'alignement des masques et l'exposition précise des images multiples sur une plaquette. En outre, l'unité offre une manipulation uniforme des substrats et des photorésistances, un chargement rapide des plaquettes sur les substrats, ainsi qu'un faible angle de manipulation des substrats et une technologie de serrage sous vide. Cette photorésist est également très programmable et personnalisable. Les utilisateurs peuvent choisir la séquence des étapes effectuées, la vitesse, la plage de température et les niveaux de pression, ainsi que d'autres détails. Toutes ces fonctionnalités font de Spectrum un excellent choix pour un traitement photorésistant de haute précision.