Occasion SEMITOOL Spectrum #9355653 à vendre en France

SEMITOOL Spectrum est un équipement de photorésistance conçu pour combiner des processus chimiques et physiques avec des dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) afin de créer une couche mince plane et uniforme de photorésist sur une variété de substrats. Il est conçu comme une plate-forme tout-en-un pour le dépôt de couches minces, la planarisation et l'élimination de la résistance. Le système utilise le plasma radiofréquence (RF) pour initier des réactions chimiques afin d'optimiser la couverture de résistance, l'épaisseur et l'uniformité. Spectrum est conçu pour accueillir plusieurs substrats, dont des plaquettes de silicium, du verre optique, de l'arséniure de gallium et de la céramique. En plus de la source de plasma RF, il dispose également d'une chambre à vide, d'un équipement de transfert de masse haute performance et de systèmes de contrôle pour la surveillance et le contrôle des processus. L'unité utilise une combinaison de CVD et de photogravure pour déposer la résine photosensible en couches minces de façon uniforme et précise sur le substrat. Le plasma RF déclenche les réactions chimiques qui créent un film plat et uniforme de photorésist à la surface. Le plasma aide également à éliminer les vides, les rayures et les résidus qui pourraient affecter les performances des dispositifs. Une fois le film mince appliqué, le substrat est ensuite transféré à l'étape de planarisation où le film est rendu plat et lisse. L'étape de planarisation utilise un procédé de gravure pour éliminer tout résidu ou irrégularité en surface. Le substrat est ensuite placé dans une chambre à vide où la résine photosensible est durcie, créant un film mince uniforme et cohérent sur la surface. Le substrat est alors prêt à résister à l'élimination. Cela peut se faire soit par gravure humide, soit par ablation laser. La gravure humide utilise une série de produits chimiques pour dissoudre la résine photosensible de la surface. L'ablation laser utilise un laser spécialisé pour évaporer doucement la résine photosensible de la surface. Enfin, le substrat est testé pour s'assurer qu'il convient à la fabrication du dispositif. Cela se fait en effectuant un test électrique sur l'appareil pour s'assurer que l'appareil fonctionne correctement et qu'il est exempt de défauts. SEMITOOL s'assure que tous les appareils qui réussissent le test sont prêts pour une utilisation commerciale. SEMITOOL Spectrum est une machine photorésist très efficace et précise qui est conçue pour fournir des appareils de haute précision avec une couverture uniforme, cohérente et fiable. Il est idéal pour une utilisation dans des applications nécessitant une couche de photorésist uniforme sur le substrat tout en assurant une performance optimale du dispositif obtenu.