Occasion SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) #293714087 à vendre en France

SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) est un équipement critique utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans l'application de matériaux photorésistants. Les photorésistes sont des matériaux sensibles à la lumière utilisés pour transférer des motifs sur des plaquettes semi-conductrices pendant le processus de photolithographie. Le SRD joue un rôle essentiel dans les étapes post-exposition en assurant le bon rinçage et le séchage des plaquettes revêtues de résine photosensible, ce qui est essentiel pour obtenir une haute résolution et précision dans le transfert de motifs. Le SRD fonctionne sur le principe de la rotation de la plaquette à des vitesses élevées tout en la rinçant avec de l'eau désionisée et en la séchant avec un courant d'azote gazeux chauffé. Ce processus dynamique élimine les photorésist résiduels et les contaminants, laissant derrière eux une surface propre et sèche prête pour les étapes de traitement ultérieures. Les composants principaux de l'équipement SRD comprennent un mandrin pour maintenir la plaquette solidement en place pendant la rotation, une buse de pulvérisation pour délivrer le rinçage à l'eau désionisée, et un collecteur de gaz pour distribuer l'azote chauffé pour le séchage. La vitesse de rotation du mandrin peut être ajustée pour atteindre la force centrifuge souhaitée pour un rinçage et un séchage efficaces. De plus, la température et le débit de l'eau de rinçage et du gaz de séchage peuvent être contrôlés pour optimiser les paramètres de processus pour différents types de matériaux photorésistants. Un des principaux avantages du système SEMITOOL SRD est sa capacité à traiter plusieurs plaquettes simultanément, augmentant le débit et l'efficacité des étapes de traitement de la résine photosensible. L'unité est équipée d'un porte-cassette multi-plaquettes et d'un bras de transfert pour le chargement et le déchargement des plaquettes en mode de traitement par lots. Cette fonction minimise l'intervention manuelle et réduit le risque de rupture ou de contamination des plaquettes. En outre, la machine SRD est conçue avec des capacités d'automatisation avancées, permettant une programmation basée sur la recette des paramètres de processus pour différents types de matériaux photorésist et les tailles de plaquettes. Ce niveau de personnalisation assure la cohérence et la répétabilité du processus de rinçage et de séchage, conduisant à une amélioration du rendement et du contrôle de la qualité dans la fabrication des semi-conducteurs. En termes de performance, l'outil SEMITOOL SRD offre un débit élevé, des capacités de rinçage et de séchage efficaces et un contrôle précis des paramètres de processus. Il s'agit d'une solution fiable et rentable pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à améliorer leurs opérations de traitement des photorésistances et à obtenir des résultats supérieurs sur les plaquettes semi-conductrices. Dans l'ensemble, SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) est un composant essentiel de l'actif photorésist pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant des capacités de rinçage et de séchage robustes pour assurer la propreté et l'intégrité des surfaces des plaquettes pendant le processus de photolithographie. Ses fonctionnalités avancées, ses capacités d'automatisation et ses caractéristiques de haute performance en font un outil précieux pour réaliser des modèles et des structures de haute qualité dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.