Occasion SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) #293747905 à vendre en France

Un SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) est un équipement critique utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement des résines photosensibles. L'équipement SRD est conçu pour éliminer les matériaux photorésistants résiduels des plaquettes semi-conductrices après le processus de photolithographie. Les principales fonctions du SRD comprennent le rinçage des plaquettes avec un solvant de haute pureté, leur filage pour éliminer l'excès de liquide et leur séchage pour assurer une surface propre exempte de contaminants. Le système SRD se compose de plusieurs éléments clés qui travaillent ensemble pour obtenir les résultats souhaités. Le premier composant est le module de rotation qui est chargé de faire tourner les plaquettes à des vitesses élevées pour faciliter l'évacuation du liquide. L'action de filage crée une force centrifuge qui entraîne le solvant hors des plaquettes, laissant une surface sèche derrière. La vitesse et la durée du cycle de rotation peuvent être ajustées pour optimiser le processus de nettoyage pour différents types de matériaux et de motifs photorésistants. Un autre composant important de l'unité SRD est le module de rinçage, qui dispense une quantité contrôlée de solvant de haute pureté sur les plaquettes pour faciliter l'élimination des résidus de résines photosensibles. Le solvant utilisé dans le processus de rinçage est généralement une combinaison d'eau désionisée et d'additifs chimiques pour améliorer les performances de nettoyage et empêcher la recontamination des plaquettes. Le module de rinçage est équipé de buses de distribution de précision qui assurent une couverture uniforme des plaquettes pendant le processus de nettoyage. En plus des modules de spin et de rinçage, la machine SRD comprend également un module de séchage qui utilise une combinaison de chaleur et d'air forcé pour éliminer les traces de solvant restantes des plaquettes. Le processus de séchage est crucial pour empêcher la formation de taches d'eau et d'autres résidus sur les plaquettes, ce qui pourrait affecter la qualité des étapes de traitement ultérieures. Le module de séchage est équipé de systèmes de contrôle de la température et du débit d'air pour garantir des performances de séchage cohérentes et efficaces. L'outil de contrôle de l'actif SRD joue un rôle crucial pour assurer un fonctionnement fiable et répétable. Le modèle de contrôle gère le moment, la vitesse et la température des cycles de spin, de rinçage et de séchage afin d'optimiser les performances de nettoyage et de minimiser les risques d'endommagement des plaquettes. Des fonctions de contrôle avancées telles que la gestion des recettes, l'enregistrement des données et les alarmes aident les opérateurs à surveiller et à ajuster le processus de nettoyage pour répondre aux exigences spécifiques des différents processus de fabrication des semi-conducteurs. Dans l'ensemble, SEMITOOL Spin Rinse Dryer (SRD) est un outil polyvalent et efficace pour éliminer les résidus de résines photosensibles des plaquettes semi-conductrices. En combinant les fonctions spin, rinçage et sec dans un seul équipement, le SRD permet aux fabricants de semi-conducteurs d'atteindre des niveaux élevés de propreté et de cohérence dans leurs processus de production. Avec des capacités de contrôle avancées et des réglages personnalisables, le système SRD offre une solution fiable pour les applications de nettoyage critiques dans l'industrie des semi-conducteurs.