Occasion SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML #9366563 à vendre en France
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ID: 9366563
Taille de la plaquette: 2"
Spin Rinse Dryer (SRD), 2"
Power supply: 220 VAC, Single phase, 3 W, 13 A, 50-60 Hz, 5 kW.
SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML Photoresist Equipment est un système automatisé de bande de plaquette, de résiste et de pelage qui est conçu pour fournir aux fournisseurs et aux développeurs de technologies de semi-conducteur et d'IC la capacité de déposer et de photorésist de bande de manière efficace, précise et rentable pour une variété d'applications de préparation de plaquettes. Cette unité utilise un module de bande et pelage (SP) qui a une capacité de une à six plaquettes. La plaquette est d'abord maintenue par une cassette ou une nacelle en présence d'un endoscope sous vide. Puis il est transféré à la position de trame où la résine photosensible est désposée. La résine est précisément enroulée sur la surface de la plaquette dans une direction parallèle aux plans de la plaquette par l'intermédiaire d'une machine R2 intégrée. La résine est ensuite laissée intacte pendant quelques secondes, ce qui permet à la résine de rentrer dans la surface de la plaquette. Ce réglage peut être fait à une température réglable de l'ambiante à la température supérieure à 200 degrés Celsius. La température est également réglable par type de dispositif ou par type de lithographie. L'outil est capable de faire automatiquement une bande complète de la résine photosensible à partir des plaquettes en utilisant l'actif PEELER intégré de SRD-240S-6-1-E-ML, qui est conçu pour utiliser deux technologies de pelage différentes ; à base de détergent et de solvant. Le procédé à base de solvant est utilisé pour les structures sous-vivantes et le procédé à base de détergent pour la technologie de jonction. En outre, le modèle est conçu avec un séchoir intégré qui peut être utilisé pour enlever davantage l'humidité. Le sécheur peut également être utilisé pour précondenser l'environnement afin d'obtenir la condition de résistance idéale pour l'enlèvement. Les utilisateurs peuvent également ajuster les paramètres du processus tels que la température, le débit et la vitesse de rotation pour obtenir les résultats souhaités. SEMITOOL SRD-240S-6-1-E-ML dispose également d'un équipement intégré d'inspection des défauts qui permet aux utilisateurs de détecter et de mesurer les défauts des plaquettes, ce qui est très important pour contrôler les résultats du processus. En outre, le système dispose d'un moniteur en temps réel des paramètres du processus pour s'assurer que le processus est exécuté de manière optimale. Dans l'ensemble, SRD-240S-6-1-E-ML est une excellente unité de photorésistance pour les fabricants de semi-conducteurs et de technologies IC. Cette machine est efficace, précise, économique et facilement réglable pour répondre aux besoins de différents types de processus. Cet outil garantit que les utilisateurs obtiennent les meilleurs résultats de la meilleure qualité dans leur application de préparation de plaquettes.
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