Occasion SEMITOOL SRD 880 #9248598 à vendre en France

SEMITOOL SRD 880
Fabricant
SEMITOOL
Modèle
SRD 880
ID: 9248598
Taille de la plaquette: 8"
Spin Rinse Dryer (SRD), 8".
SEMITOOL SRD 880 Photoresist Equipment est un système intégré complet de photolithographie conçu pour le contrôle des processus dans le traitement des dispositifs semi-conducteurs avancés. L'unité est conçue et construite pour répondre aux exigences les plus strictes en matière de précision, de répétabilité et de fiabilité dans le traitement des photorésistants semi-conducteurs. La machine comprend une chambre avec un design unique, à deux portes, offrant un accès facile à l'intérieur pour l'entretien et le service de chambre. La chambre de procédé comprend un outil de pulvérisation/vaporisation intégré, de multiples soupapes d'isolement, un contrôleur d'obturation automatisé, deux surfaces équilibrées et exemptes de contaminants, et une serrure motorisée. L'actif comprend également un modèle d'échappement filtré HEPA super propre, ainsi qu'un contrôleur de processus indépendant basé sur la recette, conçu pour maximiser le rendement et le débit. Le traitement de la résine photosensible se fait dans une chambre à enroulement spécialement conçue par SRD 880 qui possède une fonction de pulvérisation intégrée. Ceci permet de tourner et de pulvériser plusieurs plaquettes en un seul lot sans compromettre le débit. La chambre dispose également d'un équipement unique de vanne d'isolement qui aide à maintenir la chambre de processus sans contamination. Avec deux surfaces équilibrées et exemptes de contamination, le système assure que chaque plaquette est traitée au même niveau d'exposition. Le contrôleur automatique d'obturation est conçu pour assurer un contrôle précis de l'exposition des plaquettes. Il est également capable d'effectuer un chronométrage précis et répétable de l'exposition des plaquettes. Le contrôleur d'obturation travaille de concert avec le contrôleur de processus pour fournir un haut niveau de contrôle de processus et d'efficacité. Le contrôleur de processus est une unité basée sur la recette qui permet la programmation rapide et précise du traitement de la résine photosensible. Il est conçu pour donner des résultats cohérents pour chaque plaquette, même lorsque les conditions environnementales et de traitement changent. Le contrôleur de processus est entièrement programmable et peut être configuré pour plusieurs processus et recettes. Cela lui permet d'atteindre à la fois des rendements élevés et des débits élevés. SEMITOOL SRD 880 Photoresist Machine fournit un contrôle précis et des performances fiables pour les processus de photolithographie avancés. Avec son outil de pulvérisation/pulvérisation intégré, vannes d'isolement multiples, contrôleur d'obturation automatisé, deux surfaces équilibrées et sans contamination, et contrôleur de processus basé sur des recettes ; l'actif aide à améliorer les rendements de fabrication des dispositifs semi-conducteurs tout en réduisant le coût et le temps dans le processus de photolithographie.
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