Occasion SEMITOOL SRD #9198117 à vendre en France

SEMITOOL SRD est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des modèles de test haute résolution pour les applications de traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est idéal pour la recherche et le développement sur des applications émergentes telles que l'interconnexion 3D et les dispositifs MEMS. Le système SRD peut traiter jusqu'à 8 "(200 mm) de plaquettes et intègre une unité de photolithographie de projection à haute résolution, un étage de plaquettes, des plaques chaudes et froides, résister au revêtement/séchage de spin, au chauffage/refroidissement des plaquettes et aux outils de métrologie en ligne. La machine est basée sur une optique de projection avancée et un étage XY motorisé pour effectuer l'exposition des plaquettes. L'optique de projection dispose d'un outil de lentille réglable qui peut être réglé pour fournir des motifs à haute résolution à la fois à proximité et en lithographie de projection. L'optique est capable de produire des motifs d'exposition avec une résolution inférieure à 0,4 microns. Un module anti-spin/sécheur est inclus avec l'actif SEMITOOL SRD. Il est capable de filer des produits chimiques tels que des solutions photorésistantes, et de sécher la surface des plaquettes pour préparer les plaquettes à l'exposition. Un modèle intégré de chauffage/refroidissement des plaquettes permet un contrôle précis de la température des plaquettes pendant l'exposition. L'équipement SRD comprend également des outils avancés de métrologie en ligne pour surveiller le processus et assurer des modèles à haute résolution. Les outils de métrologie utilisent l'imagerie optique, l'interférométrie laser et la microscopie confocale pour mesurer et analyser les profils d'exposition pendant le processus de lithographie. Ces outils permettent un meilleur contrôle des processus et permettent d'assurer les plus hautes performances du système SEMITOOL SRD. Globalement, SRD est une unité de photolithographie polyvalente à haute résolution pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes semi-conductrices. Son optique de projection, sa résistance aux enroulements/séchoirs, sa machine de contrôle de la température et ses outils de métrologie en ligne contribuent à sa capacité à produire des motifs détaillés avec une grande précision.