Occasion SEMITOOL SRD #9213261 à vendre en France

SEMITOOL SRD est un équipement de photorésistance conçu principalement pour les essais, la fabrication et la réparation de semi-conducteurs. Il fournit la précision, le traitement à grande vitesse des couches de photorésist épaisses et minces sur les substrats de circuits intégrés. Le système peut être utilisé pour un large éventail d'applications dans les procédés semi-conducteurs, y compris la gravure, le dépôt, la lithographie et l'écriture de faisceaux d'électrons. SRD est une unité entièrement automatisée avec une conception à quatre axes, comprenant un ascenseur à plaquettes, une chambre de serrure, une base de rotation et une chambre secondaire. La machine est équipée d'une station de traitement chimique humide multi-positions pour optimiser les résultats des procédés lithographiques. Il est livré avec une caméra vidéo haute résolution et haute vitesse en option qui peut être utilisée pour inspecter et ajuster les emplacements et les dimensions des motifs. La chambre de serrage de SEMITOOL SRD fonctionne dans un outil robotique qui transfère rapidement des plaquettes sans contamination indésirable de l'air. La plate-forme d'ascenseur peut accueillir jusqu'à cinquante plaquettes avec une gamme d'options pour le balisage simple ou double face. De plus, SRD est équipé d'un système de refroidissement embarqué (jusqu'à 100kPa) pour refroidir uniformément les surfaces des plaquettes. Cela garantit des caractéristiques reproductibles même avec de grandes tailles de fonctionnalités. La chambre de procédé modèle de SEMITOOL SRD est en acier inoxydable, offrant une excellente répétabilité et reproductibilité. Son grand intérieur est conçu avec une hauteur interne de 500 mm, capable de loger une variété de tailles d'étages de plaquettes. Sa pression de vide peut être réglée jusqu'à 0,0005 mbar. SRD possède également une station de rotation standard pour 100 tr/min. En outre, SEMITOOL SRD comprend une station chimique humide multi-position qui est essentielle pour effectuer des processus lithographiques comme la gravure humide et la gravure sèche. L'unité comprend un équipement de recirculation RT intégré pour le chauffage et le refroidissement du module de procédé. Il comprend également plusieurs composants supplémentaires tels que des têtes de douche, une gravure à plasma, des modules de dépôt de pulvérisateurs et d'autres laboratoires de nettoyage. La dernière version de SRD est un système de processus de wafer semi-conducteur moderne qui combine précision et utilité en un seul paquet. Il est conçu pour utiliser une source de lumière UV haute intensité, une unité d'imagerie d'échantillons haute résolution, une sélection complète de modules de processus et l'accès à la plupart des procédés chimiques. La machine est assez puissante pour traiter des milliers de plaquettes par heure et stocker les données de manière sécurisée, permettant aux utilisateurs de rationaliser leur flux de travail.