Occasion SEMITOOL SRD #9292696 à vendre en France

SEMITOOL SRD est un équipement de photorésistance utilisé pour le polissage chimique-mécanique ou la planarisation chimique mécanique (CMP) de substrats, y compris les plaquettes, disques et autres composants électroniques à panneaux plats. C'est un système compact avec des capacités de traitement intégrées qui comprend une chambre de processus, un tampon de polissage et un disque de polissage. L'unité peut traiter divers matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium, le carbure de silicium et le polyimide. SRD dispose d'une machine de manutention automatisée des plaquettes, avec une programmation basée sur la recette permettant un haut degré de contrôle des processus. Il est conçu pour traiter une gamme de tailles de plaquettes de 8 à 300mm, avec une hauteur de chambre de processus réglable de 4 « à 45 ». SEMITOOL SRD a deux composantes principales : un mécanisme multi-disques (MDM) et une chambre de processus de planarisation (PPC). Le MDM utilise un ensemble multi-disques avec une vitesse réglable pour effectuer le processus de polissage sur le substrat. Cela inclut des tampons de polissage souples, encastrés dans le diamant et une variété de produits chimiques conçus pour améliorer les performances des procédés. Le CPP est le domaine dans lequel l'action de polissage a lieu. Il comprend une chambre de procédé, un couvercle et des systèmes de rinçage avant et après polissage. De plus, il permet un contrôle précis des paramètres du procédé, notamment le débit, la température, la vitesse de la boue et la pression. La caractéristique principale de SRD est son polissage à vitesse variable, qui permet d'optimiser le processus de polissage pour une grande variété de substrats et de chimies. SEMITOOL SRD dispose également d'une fonction de nettoyage manuel pour maintenir un environnement de polissage propre et d'un outil de nettoyage des plaquettes pour l'entretien de routine. L'actif peut être exploité à distance via un modèle de contrôle distribué, permettant le suivi et le suivi à distance du déroulement et de la progression des processus. SRD est devenu une option populaire dans l'industrie CMP en raison de sa flexibilité de processus et des anomalies de processus avancées en temps réel. L'équipement est conçu pour prévenir les défauts et assurer un haut degré d'uniformité et de contrôle, assurant une qualité constante du produit. SEMITOOL SRD est une excellente option pour tous ceux qui recherchent un système de polissage chimique-mécanique avec des performances fiables et des capacités de processus flexibles.