Occasion SEMITOOL SRD #9292751 à vendre en France
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SEMITOOL SRD (Spin Rinse Dryer) est un équipement automatisé de traitement des plaquettes utilisé pour le retrait et le remplacement de la résine photosensible. La photorésist est un matériau sensible à la lumière utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, généralement après lithographie. Le système SRD est conçu pour améliorer l'efficacité et le rendement des processus, tout en réduisant les temps de traitement et de cycle. L'unité SEMITOOL SRD se compose de quatre parties distinctes : la station de rinçage, la station de séchage, la station de photorésistance et la station de mise en scène du substrat. La station de rinçage place la plaquette dans un bain de spin et l'agite pour enlever la résine photosensible. La station de séchage utilise une combinaison de pression de chaleur et de gaz pour éliminer rapidement et en toute sécurité tout liquide résiduel de la surface de la plaquette. La station de photorésist est utilisée pour appliquer la nouvelle photorésist pour l'étape suivante du procédé. Enfin, la station d'étagement du substrat est un environnement clos pour le marquage, le transfert et le stockage des substrats au cours du processus. La machine SRD est très réglable et adaptable, capable de traiter différentes tailles et types de substrat, y compris le silicium et l'arséniure de gallium. En outre, l'outil SEMITOOL SRD est conçu pour être intégré dans d'autres systèmes de l'usine, permettant aux composants de se déplacer dans tout le processus de fabrication aussi efficacement que possible. L'automatisation de l'ensemble du procédé, y compris l'opération de spin-rinçage et le séchoir, permet de déplacer rapidement les plaquettes tout en fournissant des résultats de haute qualité. SRD actif est facile à utiliser et offre une large gamme de fonctionnalités pour personnaliser le processus. Par exemple, SEMITOOL SRD peut être adapté aux exigences spécifiques du produit et aux paramètres du processus - tels que le diamètre de la plaquette, la vitesse, l'angle de rotation, les types de pulvérisation, etc. - permettant aux utilisateurs d'optimiser le processus pour leur application particulière. L'automatisation du SRD réduit également les exigences de participation des opérateurs et permet d'intégrer le modèle à d'autres systèmes de l'usine. En conclusion, SEMITOOL SRD est un équipement photorésist polyvalent et automatisé conçu pour améliorer l'efficacité et le rendement des processus, tout en diminuant le cycle et les temps de processus. Il offre une gamme de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de personnaliser le processus pour leur application particulière, et peut être facilement intégré dans les systèmes de traitement des plaquettes existants.
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