Occasion SEMITOOL SST 2061D #142241 à vendre en France
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SEMITOOL SST 2061D est un équipement de photorésistance conçu pour aider les utilisateurs à utiliser leurs processus de lithographie implémentés. Il s'agit d'un système compact, robuste et convivial, adapté à une large gamme de tailles de plaquettes et de procédés pour les besoins avancés en lithographie de microfabrication. L'unité dispose d'une conception brevetée pour assurer un traitement précis et efficace de divers substrats complexes. Il supporte également l'intégration multi-résistante, offrant à l'utilisateur une plus grande flexibilité et des fenêtres de processus plus larges. La machine offre une définition de bord supérieure tout en réduisant la formation de résidus et de particules. SST 2061D a un volume de chambre maximum de 363 litres, qui peut accueillir jusqu'à 200mm de plaquettes. Il est équipé d'un outil de distribution, d'une source lumineuse et d'un régulateur de température. Le composant clé, le générateur de motifs, est logé à l'intérieur de la chambre optique et est capable de faire tourner la plaquette à des vitesses allant jusqu'à 1600 tr/min. La plaquette est chargée sur un étage à plusieurs niveaux Ultima Gold puis exposée à la source lumineuse. Le générateur de fonctions Lambda de distorsion inférieure et l'actif de distribution photorésist travaillent alors ensemble pour produire des motifs précisément définis. Le modèle est conçu pour offrir aux utilisateurs des performances de processus photorésist améliorées grâce à sa conception en chambre ouverte, son équipement de filtration CleanPlus Technology et sa température de substrat stable, contrôlée par un refroidisseur intégré. Le système dispose également d'un contrôleur informatique basé en salle blanche avec une interface utilisateur graphique (interface graphique). SEMITOOL SST 2061D convient à un large éventail de procédés photorésistants, de simples à complexes. Il offre une technologie de pointe pour créer une définition de bord supérieure, un meilleur contrôle des limites de champ et des caractéristiques réduites, le tout avec une faible formation de particules. Il est également capable de traitement à basse température pour une meilleure compatibilité des matériaux. Dans l'ensemble, SST 2061D est une unité de photorésistance avancée qui intègre les dernières technologies pour offrir des performances de processus supérieures. Avec sa conception haute performance, son interface utilisateur facile et sa construction durable, il est un outil puissant pour aider à atteindre les résultats de lithographie souhaités.
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