Occasion SEMITOOL SST 421-280 #9351561 à vendre en France

SEMITOOL SST 421-280 est un équipement de photorésistance utilisé pour les procédés de microfabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un système de banc humide entièrement automatisé qui combine un cycle de processus court avec une assurance qualité de processus élevée et une entrée minimale de l'opérateur. Cette unité est adaptée au traitement des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et contient une seule étape cassette/substrat cassette pour le traitement d'une gamme de substrats allant du silicium aux métaux durcis. SEMITOOL SST-421-280 possède huit réactifs pour des processus tels que les développeurs, les etchants, les neutralisants et les absorbeurs. Il est conçu avec un contrôleur de machine modulaire, permettant des changements rapides dans les paramètres de paramètres et de processus. L'outil est également capable de s'intégrer à d'autres procédés tels que le séchage par spin-rinçage et le traitement par plasma. De plus, l'actif fournit une gamme complète de diagnostics tels que la surveillance de la température et du nombre de cycles. La norme SST 421-280 est équipée du modèle de détection automatique des points d'extrémité (EPD) qui permet un contrôle précis des processus chimiques. Cet équipement combine les avantages d'un étage thermique et d'un détecteur photo pour surveiller la résistivité de surface de la plaquette en temps réel. De plus, le système fournit un datalogger optique qui enregistre le journal de cycle et les paramètres pour permettre la traçabilité du processus. Enfin, l'unité est également équipée d'un convoyeur qui assure à la fois la charge monobloc et le déchargement ainsi que la capacité de chargement par lots. Le convoyeur permet également un positionnement très précis des plaquettes avant gravure et ashing afin d'assurer le rendement le plus élevé possible. SST-421-280 est une machine de photorésistance avancée conçue pour fournir une assurance qualité de processus élevée et la flexibilité dans un large éventail d'applications pour l'industrie des semi-conducteurs. Avec son outil automatisé de détection des points d'extrémité, son convoyeur et une gamme complète de diagnostics, l'actif permet des processus de fabrication précis et rentables.