Occasion SEMITOOL SST 421 #9379925 à vendre en France

SEMITOOL SST 421 est un équipement de traitement par lots de photorésistance conçu pour réaliser des circuits intégrés sur des plaquettes semi-conductrices. Il est optimisé pour les processus utilisés dans la mémoire avancée, la logique, et d'autres technologies IC complexes. SEMITOOL SST-421 est conçu pour un rendement de l'appareil le plus élevé, une durée de cycle réduite et une configurabilité automatisée. Il utilise la technologie propriétaire Ultra Process - UpTech™, une combinaison d'algorithmes avancés, de modules de processus intégrés et de fonctionnalités de débit à changement rapide. Ceux-ci permettent à l'outil d'atteindre un débit accru avec des temps de cycle réduits. SST 421 se compose d'une plate-forme modulaire intégrée. Les quatre composants principaux sont un système intégré de distribution chimique, une chambre de transfert thermique, une unité de positionnement de substrat et un contrôleur embarqué. La machine de livraison chimique intégrée se compose de quatre réservoirs chimiques climatisés indépendants reliés à un outil de pompage. La configuration du réservoir chimique disponible pour SST-421 est personnalisable pour chaque procédé unique. L'actif comprend plusieurs pompes et filtres nécessaires pour fournir différentes chimies telles que photorésist, développeurs et etchants. La chambre de transfert thermique est conçue pour assurer l'uniformité de la température de traitement sur la surface de la plaquette. Cette chambre utilise un modèle intégré de chauffages et de ventilateurs qui peuvent être ajustés en fonction des exigences du processus. L'équipement de positionnement du substrat est une unité de manutention de plaquettes avec cinq axes de mouvement commandables individuellement. Ceci permet un alignement et un positionnement précis du substrat au cours du processus. Le système comprend également un bras robotique pour capter et transférer les substrats vers et depuis les réservoirs chimiques. Le contrôleur embarqué est un contrôleur personnalisé construit pour l'outil qui fournit aux utilisateurs une interface utilisateur intuitive. Ce contrôleur permet aux utilisateurs de programmer et de modifier des recettes. Le contrôleur peut également surveiller les paramètres de processus en temps réel. Le contrôleur peut être relié via un réseau pour permettre la télécommande. SEMITOOL SST 421 est une unité de traitement photorésistante innovante conçue pour la production de dispositifs semi-conducteurs à haut volume et haute précision. Il combine des algorithmes avancés, des modules de processus intégrés et des fonctionnalités de débit à changement rapide pour fournir un débit accru et des temps de cycle réduits. Son architecture modulaire fournit la configurabilité, tandis que son contrôleur embarqué assure un fonctionnement intuitif et curable.