Occasion SEMITOOL SST-C-221-280-PB #9408953 à vendre en France

ID: 9408953
Spray solvent system Stainless steel cabinet Process: Metal lift off Resist strip Polymer removal or wafer cleaning (2) Heated tanks (NMP) (2) Ambient heated tanks (IPA) Front touch screen SEMITOOL 302 Controller 280 Bowl (Accommodates 8" substrate-low profile) Encapsulated ferro fluidic drive seal KALREZ Bowl seal N2 Purged dedicated chemical DI Water spray manifolds Dedicated TFE N2 dry manifold Graphic color controller Process variable control of RPM Heated chemical temperature Vertical Auto Door (VAD) Power: 208V, 5 wires, 3 Phase.
SEMITOOL SST-C-221-280-PB est un équipement de photorésistance conçu pour fournir des performances supérieures et une fiabilité de processus supérieure lors du traitement dans des procédés de lithographie avancés. Le système est une solution de traitement photorésistante entièrement automatisée, capable d'exécuter des processus en une seule étape et en plusieurs étapes avec de multiples configurations de substrat. L'unité utilise une machine de chargement de substrat entièrement automatisée, et est capable de stocker jusqu'à cinq ensembles de recettes pour différents processus. L'outil offre des matériaux, des composants et des pratiques d'ingénierie de la plus haute qualité pour garantir des performances, une répétabilité et une fiabilité de processus supérieures. L'actif utilise la technologie brevetée de distribution de gaz pour répartir uniformément la résine photosensible à la surface du substrat et pour éliminer le besoin d'étalement manuel. Un modèle bi-pompe unique est utilisé pour assurer une répartition uniforme de la résine photosensible sur le substrat tout en fournissant un processus cohérent et répétable. L'équipement est capable de traiter des plaquettes de dimensions allant jusqu'à 6 pouces de diamètre et d'une épaisseur maximale de 200 um. Le système utilise un moniteur à quartz entièrement intégré pour mesurer l'épaisseur de la résine photosensible au niveau de la plaquette et pour contrôler l'uniformité de la couche de résine photosensible. La machine dispose également d'un outil d'inspection en temps réel qui permet à l'utilisateur de surveiller la couche de résine photosensible pendant le déroulement du processus. SST-C-221-280-PB est également équipé d'une capacité de cuisson haute densité et basse température qui assure des conditions de processus reproductibles, et assure une résistance constante à la cuisson et à la cuisson. L'actif est également équipé de deux étages de chauffage et de deux étages de refroidissement, permettant un contrôle précis du processus. Dans l'ensemble, SEMITOOL SST-C-221-280-PB est un modèle de photorésist avancé conçu pour fournir des performances supérieures, la fiabilité des processus, et la répétabilité. L'équipement est conçu pour des processus de lithographie avancés, et permet une gamme de paramètres de processus qui peuvent être personnalisés pour l'application spécifique. Le système utilise des matériaux, des composants et des pratiques d'ingénierie de la plus haute qualité pour garantir des performances, une répétabilité et une fiabilité de processus supérieures. L'unité est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre et 200 um d'épaisseur. La machine dispose également d'un moniteur à cristaux de quartz intégré et de systèmes d'inspection en cours de fabrication pour garantir des performances et une fiabilité supérieures.
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