Occasion SEMITOOL SST-C-321-280 #9238796 à vendre en France
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ID: 9238796
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Spray solvent system, 8"
Part number: SST-C-221-280
Cabinet: Stainless steel, class 1
Gen-2 build
Front local interface (Standard)
Tool side touch screen
EMO (Front and rear)
Bottom fed facilities
Top fed exhaust
(2) Heated tanks for NMP based processing (Standard)
(2) IPA Tanks (Non heated)
(280) Bowls (Accommodates, 8" substrate-low profile)
Encapsulated ferrofluidic drive seal
KALREZ Bowl seal
N2 Purged dedicated chemical
DI Water spray manifolds
TFE N2 Dry manifold
Graphic color controller
Process variable control of RPM
Heated chemical temperature
Power supply: 208 VAC, 30 A, 5 wire. 50/50 Hz, 3 Phase
2000 vintage.
SEMITOOL SST-C-321-280 est conçu pour être utilisé dans diverses applications de photorésistance. Il s'agit d'un équipement automatisé de traitement par lots qui peut traiter de grandes charges de résistances rapidement et efficacement. Le système est conçu pour fournir une couche de revêtement précise et répétable sur une variété de substrats dans un environnement robuste. L'unité dispose d'une base composée d'acier inoxydable lui donnant la résistance et la résistance à la corrosion nécessaires pour résister à l'environnement dur d'un processus de photorésistance. La base dispose également d'une gamme de composants mécaniques bien positionnés qui augmentent la fiabilité dans divers environnements de production exigeants. La machine est entièrement automatisée, supportant le mouvement programmable de la tête de douche, permettant de multiples étapes de traitement et recettes. Le coeur de l'outil est une chambre de 280 litres refroidie par un compresseur à un étage qui crée le vide dans la chambre. La chambre est équipée de tête de douche et de mandrin pour support de substrat. Cette combinaison assure une dispersion uniforme et contrôlée de la résistance sur la surface du substrat, assurant une épaisseur constante. Les commandes numériques sur le panneau avant permettent une configuration et un fonctionnement faciles. Le moyen de transport de la plaquette sur la chambre supporte jusqu'à huit plaquettes de diamètres variables. Il est conçu pour le débit de production et dispose d'un temps wafer-to-wafer dans une gamme de cinq secondes. Ce transfert de plaquettes plus rapide permet un débit plus élevé ainsi qu'un démarrage plus rapide pendant les phases de production. Le modèle de transfert de plaquettes est également conçu avec un mécanisme d'auto-nettoyage pour prévenir l'accumulation de contamination. Pour une précision maximale lors des opérations de production, les systèmes de vision de l'équipement sont équipés de systèmes intégrés de vision et de sources lumineuses afin d'assurer une visibilité claire du côté arrière des substrats. Les systèmes intégrés donnent les meilleurs résultats possibles en tout temps. Le système dispose également d'une unité de commande d'entrée/sortie du signal de pointe permettant une surveillance à distance de l'état de la machine. L'outil SEMITOOL SSTC321280 est un outil efficace et fiable idéal pour le traitement des photorésistances. Il est conçu pour fournir un fonctionnement robuste et fiable pour des opérations de production à grande échelle avec des résultats de haute qualité.
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