Occasion SEMITOOL SST-C-421-280 #9144801 à vendre en France

SEMITOOL SST-C-421-280 est un équipement de photorésistance entièrement automatisé composé de deux chambres de traitement, capable de traiter jusqu'à 161 plaquettes en une seule charge, et peut fonctionner comme un système à une ou deux chambres. Les chambres de traitement sont construites en acier inoxydable trempé et disposent d'un contrôleur de précision à 3 zones réglable et de minuteries de traitement pour optimiser l'uniformité thermique et le débit unitaire global. La première chambre dispose d'une piste d'imagerie photo qui utilise un scanner VFL pour obtenir une couverture optimale des plaquettes. Ce scanner se déplace de 7 à 60 mm par seconde sur la surface de la plaquette pour permettre une précision et un débit maximum. La tête de processus de la machine d'imagerie peut varier de 600 mm à 600 mJ/cm ² pour un meilleur contrôle des profils de bord d'image et des risers. Cette piste dispose également d'un espace de chauffage réglable pour des temps de traitement allant jusqu'à 60 minutes, ce qui est idéal pour l'imagerie de structures de plaquettes plus longues. Afin d'obtenir une flexibilité maximale, la deuxième chambre est capable d'initier des cycles d'immersion et de développement de pulvérisation monobloc. L'outil de développement d'immersion est constitué d'une plate-forme contrôlée en hauteur (HCP) et de Jet Pump Overlay pour minimiser les dommages de pièces et fournir une couverture supérieure de pièces. Le HCP est réglable de 0,2 à 4 cm en axe Z pour contrôler le débit de la pièce et est compatible avec de nombreux solvants dont le H2O2, l'acide phosphorique et d'autres. L'actif de développement de pulvérisation a été conçu pour une précision et une répétabilité optimales et fournit un profil de nivellement supérieur avec une distorsion minimale et des dommages partiels. Il permet à la buse de pulvérisation de se déplacer dans les deux directions X et Y, permettant la pulvérisation circulaire ou x-y-z, et peut délivrer jusqu'à cinq cycles de développement de pulvérisation par plaquette. Enfin, le modèle fournit également un Sécheur MonoWafer (MWD) optionnel pour sécher les processus critiques. Ce sécheur puissant mais économe en énergie utilise plusieurs radiateurs de chaleur pour chauffer uniformément la plaquette à une température de 90 ° C afin d'obtenir une uniformité de température maximale et une faible contrainte thermique. En conclusion, SEMITOOL SSTC421280 est un équipement photorésist entièrement automatisé conçu pour offrir une flexibilité maximale et une précision optimale. Sa chambre de traitement double est idéale pour traiter jusqu'à 161 plaquettes en une seule charge, tandis que son scanner à lentille pliée à vide à faible distorsion, son système de développement d'immersion et son séchoir à simple plaquette permettent d'obtenir des résultats supérieurs avec un minimum de dommages aux pièces.