Occasion SEMITOOL SST-C-621-270 #9177160 à vendre en France
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Vendu
ID: 9177160
Taille de la plaquette: 3"-4"
Style Vintage: 1995
Batch solvent spin rinse dryer, 3"-4"
Cassette
Pumps / Tanks
1995 vintage.
SEMITOOL SST-C-621-270 est un équipement de photorésistance développé pour des applications semi-conductrices. Il est conçu pour être utilisé dans une grande variété de flux de processus qui impliquent le traitement de plaquettes avec des photorésistants. Le système offre une répétabilité de processus élevée, un débit et une fiabilité élevés, et de faibles exigences de maintenance. L'unité est constituée d'un collecteur de distribution à 621 canaux commandables électriquement qui permet un contrôle précis et précis du débit. Cela permet un contrôle rigoureux des produits chimiques livrés à la surface de la plaquette. Une chambre de procédé permet le chargement simultané de plaquettes et d'un bateau-quartzboat monobloc pour le transport massif de produits chimiques dans la machine. L'outil est également équipé de modules de contrôle de température double pour permettre un contrôle précis de la température des solutions photorésistantes et pour minimiser la variabilité des processus. L'actif dispose également d'un mandrin de spin de 270 positions qui fournit une plate-forme stable pour exécuter des processus de précision, y compris le revêtement de spin, le four pré-mou et post-développement. Une lampe UV située au-dessus du mandrin sous vide est utilisée pour sécher rapidement les couches de résine photosensible. Pour des raisons de sécurité, le modèle comprend un dispositif d'évacuation d'urgence (OT) et un équipement d'échappement de bord pour contrôler le rejet de toute particule dangereuse en suspension dans l'air. Last, but not least, SST-C-621-270 dispose d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) pour permettre aux utilisateurs de visualiser et de contrôler le système. L'interface graphique facilite le fonctionnement de l'appareil et permet aux utilisateurs de configurer et de surveiller rapidement la machine pour optimiser leur processus. En conclusion, SEMITOOL SST-C-621-270 est un outil de photorésistance très efficace, fiable et convivial qui permet un traitement précis et précis des plaquettes avec des photorésists.
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